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문제 정의
- 베이스에 전달되는 반발력을 줄이기 위해 수동반발력 보상 장치가 제안되었고 이 장치는 이동 가능한 마그넷 트랙, 스프링, 추가 질량으로 구성되며 추가 질량과 스프링 강성을 조절하여 베이스에 전달되는 힘을 감소시킨다[1]. 본 논문에서는 와전류 감쇠기를 모델링하고 이를 고려하여 수동반발력 보상 장치를 최적설계 하였다.
- 본 논문에서는 와전류감쇠기를 고려한 정밀스테이지용 반발력 보상장치의 최적설계를 수행하였다. 스프링 없이 와전류 감쇠기만으로 반발력 보상 장치의 구현이 가능함을 보였고, 주어진 모션 입력에 대해 설계 조건을 만족하는 최적의 와전류 감쇠기를 설계하였다.
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