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문제 정의
- 전북대학교 고온플라즈마응용연구센터는 고가의 소재공정용 플라즈마 장치 구축을 통하여 나노 분말 합성, 고온고강도 신소재 연구 및 이를 활용한 첨단 소재, 응용연구의 핵심 인프라 역할을 수행할 것이다. 또한 생산목적에 최적화된 플라즈마 발생장치를 공급함으로써 국내 소재 산업 육성에 기여하고자 한다.
- 4MW Enhanced Huels형 플라즈마 발생장치와 차세대 전자, 디스플레이, 에너지 분야 등의 부품 소재산업분야에서 필요로 하는 고기능성 복합 나노분말소재의 합성과 금속/세라믹 분말을 기판 표면에 코팅하는 플라즈마 용사 코팅이 가능한 응용연구 개발용 60kW 와 상용화 연구를 위한 200kW 급 대형 ICP(RF) 플라즈마 장치를 구축하고 있다. 본 논문에서는 소재 공정 용 60kW 및 200kW ICP(RF) 플라즈마 장치에 대하여 소개하고자 한다.
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