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NTIS 바로가기Reliability Physics Symposium (IRPS), 2021 IEEE International, 2021 Mar, 2021년, pp.1 - 2
Palmer, J. (Quality and Reliability) , Zhang, G. W. (Quality and Reliability) , Weber, J. R. (TCAD, Intel Corporation, Hillsboro, OR, U.S.A) , Lin, Che-Yun (Quality and Reliability) , Perini, C (Quality and Reliability) , Kasim, R. (Quality and Reliability)
As interconnect dimensions shrink, interlayer breakdown is increasingly relevant to reliability. This paper presents TDDB, voltage acceleration, and leakage data for Cu and Co interconnects. The leakage mechanism is found to be Poole-Frenkel saturation transitioning to Fowler-Nordheim tunneling at h...
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