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[국내논문] Nanosheet FET와 FinFET의 전류-전압 특성 비교
Comparison of Current-Voltage Characteristics of Nanosheet FET and FinFET 원문보기

한국정보통신학회 2022년도 춘계학술대회, 2022 May 26, 2022년, pp.560 - 561  

안은서 (한경대학교) ,  유윤섭 (한경대학교)

초록
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본 논문은 Nanosheet FET(NSFET)와 FinFET의 소자 성능을 3차원 소자 시뮬레이션을 통하여 다양한 구조의 NSFET와 FinFET의 소자 시뮬레이션을 한다. NSFET와 FinFET의 전류-전압 특성을 시뮬레이션하였고, 그 전류-전압 특성으로부터 추출한 문턱전압, 문턱전압이하 기울기 등의 성능을 비교하였다. NSFET이 FinFET보다 전류-전압 특성에서 드레인 전류가 더 많이 흐르며 더 높은 문턱전압을 갖는다. 문턱전압이하 기울기는 NSFET와이 FinFET보다 더 가파른 기울기를 갖는다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, current-voltage characteristics of various types of Nanosheet FET (NSFET) and FinFET are simulated with 3D device simulator. The threshold voltage and subthreshold swing extracted from the simulated current-voltage characteristics of NSFET and FinFET were compared. Both of threshold v...

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