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NTIS 바로가기Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning X, 2021, 2021년, pp.7 -
Shen, Meihua , Hoang, John , Chi, Hao , Qian, Danna , Papasouliotis, George , Church, Jonathan , Subramonium, Pramod , Hudson, Eric , Belau, Leonid , Haynes, Katherine , Weimer, Matt , Puthenkovilakam, Ragesh , Reddy, Sirish , Bhadauriya, Sonal , Lill, Thorsten , Bannister, Julie , Mohanty, Nihar
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