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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1985-0006661 (1985-09-12) |
공개번호 | 10-1987-0003392 (1987-04-17) |
공고번호 | 10-0073226-0000 (1994-01-28) |
등록번호 | 10-0073226-0000 (1994-05-02) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019850006661 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1990-07-20) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
광 영상 패턴을 연속적으로 주사하여 시험체에서의 서브 마이크로미터 크기의 결함부의 고효율의 속도를 검출하도록 한다.광 검출기(42)에 행(86) 및 열(88)의 제1 어레이(82)로 배열된 광검출 소자(84)를 형성하고 각각의 행(94) 및 열(96)의 제2 어레이(90)로 배열된 복수의 화소(92)를 갖는 복수의 인접 줄무늬 영역(72)을 광패턴(10')으로 한정한다. 이어 각 광검출소자(40)가 화소(92)들중 어느 한 소자내에 존재하는 광(20')의 양에 대응하는 측정 에너지 값을 얻는다. 다음에 열(88)내의 광검출 소자(8
특수의 인접 선조영역을 구비하며, 상기 각 선조영역은 횡 및 열의 제1어레이로 정렬되는 복수의 픽셀소자를 포함하는 광패턴에 관련된 표본 대상물내에서 결함의 존재를 광패턴으로 검출하기 위한 방법에 있어서, 횡 및 열의 제2어레이로 정렬되는 광검출소자를 구비하며, 각각의 광검출소자는 어느 한 픽셀소자에 존재하는 광의 양에 관련된 측정 에너지 값을 제공하기 위해 작동하는 광 검출수단을 제공하며, 열내의 광 검출소자의 수와 동일한 다수의 에너지 값을 얻기 위해 제2어레이의 횡내의 광검출소자의 어느 하나를 픽셀소자와 일치하게 계속해서 정렬시
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