초록 ▼

[목적]상기와 같은 문제점을 고려해서 발명된 것으로,복수의 패턴 이 묘화되어 있는 경우에도 패턴의 치수정밀도를 가급적 향상 시킬수 있다.[구성]도전이 다른 미리 조제된 용액이 들어 있는 탱크(3A,3B)에 가압된 질소기체를 압송한다. 탱크(3A,3B)에 들어 있던 피혼 합액(A,B)은 각각 체크밸브(4A,4B:check valve)와 유량계(5A,5B) 및 나사선 관(7:spriral tube)을 매개로 혼합탱크(3C)로 유입된 다음 이 혼합탱크(3C) 에서 혼합되어 현상액으로 된 다. 혼합탱크(3C)내에 현상액이 소정 양 유입된

[목적]상기와 같은 문제점을 고려해서 발명된 것으로,복수의 패턴 이 묘화되어 있는 경우에도 패턴의 치수정밀도를 가급적 향상 시킬수 있다.[구성]도전이 다른 미리 조제된 용액이 들어 있는 탱크(3A,3B)에 가압된 질소기체를 압송한다. 탱크(3A,3B)에 들어 있던 피혼 합액(A,B)은 각각 체크밸브(4A,4B:check valve)와 유량계(5A,5B) 및 나사선 관(7:spriral tube)을 매개로 혼합탱크(3C)로 유입된 다음 이 혼합탱크(3C) 에서 혼합되어 현상액으로 된 다. 혼합탱크(3C)내에 현상액이 소정 양 유입된 후,체크밸브 (4A,4B)의 개방정도를 혼합액체제어회로(9)에 의해 폐로 하게 된다. 혼합액제어회로(9)에 의해 방향전환밸브(6)를 제어해 서 A용액 또는 B용액을 혼합탱크(3C)내에 미량 주입시킴으로써혼합탱크(3C)내의 도전율이 최적(일정치)으로 되도록 하는 바,여기서 최적이라고 할 수 있는 도전율은 2us/cm-100us/cm의 범위이다.[효과]패턴의 종류와 레지스트의 종류 및 프로세스조건에 따라 최적 의 도전율을 갖는 현상액을 조제할 수 있게 되어 패턴의 치수 정밀도를 가급적으로 향상시킬수 있게 된다.

대표청구항

도포된 레지스트막상에 소정의 패턴이 묘화된 도전체를 안정한 전극과 함께 현상액속에 침적시켜 상기 도전체와 상기 전극간에 흐르는 전류치를 기초로 상기 묘화된 패턴의 현상종점을 판별하도록 된 자동현상장치에 있어서, 용액속에서 전리되는 물질을 상기 현상액에 함유시키는 수단(4A, 4B)과, 상기 현상액의 도전율을 검출하는 검출수단(10C) 및 이 검출수단(10C)의 검출치를 기초로 상기 현상액의 도전율이 최적으로 되도록 상기 함유시키는 수단(4A,4B)을 제어하는 제어수단(9)을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 자동현상장치.

도포된 레지스트막상에 소정의 패턴이 묘화된 도전체를 안정한 전극과 함께 현상액속에 침적시켜 상기 도전체와 상기 전극간에 흐르는 전류치를 기초로 상기 묘화된 패턴의 현상종점을 판별하도록 된 자동현상장치에 있어서, 용액속에서 전리되는 물질을 상기 현상액에 함유시키는 수단(4A, 4B)과, 상기 현상액의 도전율을 검출하는 검출수단(10C) 및 이 검출수단(10C)의 검출치를 기초로 상기 현상액의 도전율이 최적으로 되도록 상기 함유시키는 수단(4A,4B)을 제어하는 제어수단(9)을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 자동현상장치.