최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 10-1990-0001272 (1990-02-02) |
공개번호 | 10-1990-0013347 (1990-09-05) |
공고번호 | 10-0050573-0000 (1991-10-19) |
등록번호 | 10-0050573-0000 (1992-04-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019900001272 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (1990-02-02) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
[목적]상기와 같은 문제점을 고려해서 발명된 것으로,복수의 패턴 이 묘화되어 있는 경우에도 패턴의 치수정밀도를 가급적 향상 시킬수 있다.[구성]도전이 다른 미리 조제된 용액이 들어 있는 탱크(3A,3B)에 가압된 질소기체를 압송한다. 탱크(3A,3B)에 들어 있던 피혼 합액(A,B)은 각각 체크밸브(4A,4B:check valve)와 유량계(5A,5B) 및 나사선 관(7:spriral tube)을 매개로 혼합탱크(3C)로 유입된 다음 이 혼합탱크(3C) 에서 혼합되어 현상액으로 된 다. 혼합탱크(3C)내에 현상액이 소정 양 유입된
도포된 레지스트막상에 소정의 패턴이 묘화된 도전체를 안정한 전극과 함께 현상액속에 침적시켜 상기 도전체와 상기 전극간에 흐르는 전류치를 기초로 상기 묘화된 패턴의 현상종점을 판별하도록 된 자동현상장치에 있어서, 용액속에서 전리되는 물질을 상기 현상액에 함유시키는 수단(4A, 4B)과, 상기 현상액의 도전율을 검출하는 검출수단(10C) 및 이 검출수단(10C)의 검출치를 기초로 상기 현상액의 도전율이 최적으로 되도록 상기 함유시키는 수단(4A,4B)을 제어하는 제어수단(9)을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 자동현상장치.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.