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[한국특허] TIN의 플라즈마 화학증착 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-016/50
출원번호 10-1990-0003896 (1990-03-22)
공개번호 10-1991-0016962 (1991-11-05)
공고번호 10-0052953-0000 (1992-03-31)
등록번호 10-0052953-0000 (1992-07-09)
DOI http://doi.org/10.8080/1019900003896
발명자 / 주소
  • 천성순 / 서울시노원구중계동시영아파트***동***호
  • 김시범 / 서울시서대문구홍은동***-**
  • 장동훈 / 강원도강릉시임당동**번지*/*
출원인 / 주소
  • 한국과학기술원 / 대전 유성구 구성동 ***-*
대리인 / 주소
  • 박장원 (PARK, Jang Won)
  • 서울특별시 강남구 논현동 ***번지
심사청구여부 있음 (1990-03-22)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록 ▼

본 발명은 TiN의 플라스마 화학 증착을 통하여 공구 자체의 기계적 성질을 변화시킴이 없이 비교적 저욘에서 공구의 표면에 TiN 박막을 증착시키기 위한 TiN의 플라스마 화학 증착법에 관한 것이다.종래에는 화학 증착법이 사용되었으나 이는 1000℃ 이상의 고온에서 반응이 일어나 조직 변화 및 기계적 성질의 저하를 가져오며, 물리 증착법에 의한 TiN 코팅은 대량 생산과 복잡한 형상의 공구에는 부적합하다. 따라서 증착 반응 온도가 낮고 균일한 두께로 코팅할 수 있는 방법이 필요하다.TiN의 플라스마 화학 증착 방법의 장치는 크게 가스

대표청구항

TiCl4, N2 및 H2를 반응기체로 사용하고 Ar기체를 운반기체로 하여 TiCl4용액으로부터 버블링시켜 얻어진 TiCl4기체를 반응로 내부로 공급하고, RF파워에 의한 글로우방전을 통하여 저온의 증착온도에서 피증착물 표면에 TiN 보호피막을 형성시킴을 특징으로 하는 TiN의 플라즈마 화학증착방법.

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