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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1992-0002555 (1992-02-20) |
공개번호 | 10-1992-0017945 (1992-10-21) |
등록번호 | 10-0198481-0000 (1999-03-02) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019920002555 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1996-09-18) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
증류방법으로 미리 정제한 과산화수소에다 적은 양의 킬레이트화합물을 첨가하고 비이온교환 수지 흡착제와 접촉시키는 것을특징으로 하는 반도체 기술에 사용할 수 있도록 아주 적은 양의무기와 유기 불순물, 또는 무기나유기 불순물을 함유하고 있는과산화수소의 순도를 더 높이는 과산화수소 정제방법.
증류방법으로 미리 정제한 과산화수소에다 적은 양의 킬레이트화합물을 첨가하고 비이온교환 수지 흡착제와 접촉시키는 것을 특징으로 하는 반도체 기술에 사용할 수 있도록 아주 적은 양의 무기와 유기 불순물, 또는 무기나 유기 불순물을 함유하고 있는 과산화수소의 순도를 더 높이는 과산화수소 정제방법.
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