최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 10-1994-0034677 (1994-12-16) |
공개번호 | 10-1995-0019729 (1995-07-24) |
등록번호 | 10-0171651-0000 (1998-10-21) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019940034677 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (1994-12-16) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
적어도 대기온도보다 낮은 온도로 반도체 기판을 과냉각하는 공정과, 대기중에 존재하는 휘발성 유기물을 상기 반도체 기판상에 포집하는 공정과, 상기 반도체 기판을 가열하여 상기 휘발성 유기물을 상기 반도체 기판으로부터 이탈시키는 공정 및, 상기 휘발성 유기물을 분석하는 공정으로 이루어진 유기물 분석방법. 이 방법으로 반도체장치에 흡수되어 반도체 장치의 성능에 악영향을 줄 수도 있는 유기물만을 선택적으로 포집할 수 있게된다.
적어도 대기온도보다 낮은 온도로 반도체 기판을 과냉각하는 공정과, 대기중에 존재하는 휘발성 유기물을 상기 반도체 기판상에 포집하는 공정과, 상기 반도체 기판을 가열하여 상기 휘발성 유기물을 상기 반도체 기판으로부터 이탈시키는 공정 및, 상기 휘발성 유기물을 분석하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기물 분석방법.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.