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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-1995-0031022 (1995-09-21) |
| 공개번호 | 10-1997-0017923 (1997-04-30) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1019950031022 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
| 법적상태 | 취하 |
반도체장치의 수율 예측방법이 개시되어 있다. 본 발명은 반도체장치의 수율 예측방법에 있어서, 신경망 이론과 공정변수와의 상관관계를 분석 및 정립하는 단계; 상기 상관관계를 기초로하여 시뮬레이터를 구축하고 하나의 공정변수에 대해 코렐레이션 팩터를 최적화하는 단계 ; 및 상기 하나의 공정변수 이외의 공정변수에 대해 모두 코렐레이션 팩터를 최적화하여 수율 시뮬레이터를 구축하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 수율 예측방법을 제공한다.본 발명에 의하면, 반도체장치의 수율을 예측할 수 있는 시뮬레이터를 완성할 수 있어 각 공
반도체장치의 수율 예측방법에 있어서, 신경망 이론과 공정연수와의 상관관계를 분석 및 정립하는 단계; 상기 상관관계를 기초로하여 시뮬레이터를 구축하고 하나의 공정변수에 대해 코렐레이션 팩터를 최적화하는 단계 ; 및 상기 하나의 공정변수 이외의 공정변수에 대해 모두 코렐레이션 팩터를 최적화하여 수율 시뮬레이터를 구축하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 수율 예측방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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