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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1995-0036851 (1995-10-24) |
공개번호 | 10-1997-0023660 (1997-05-30) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019950036851 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 다이아몬드 박막(Diamond thin films) 코팅(coating) 방법에 관한 것으로서, 소정의 초단파 파워(Microwave power), 진공도, 메탄 농도(CH4 concentration), 및 코팅 대상물의 온도 등의 증착(deposition) 조건에 따라 수행되는 다이아몬드 박막 코팅방법에 있어서, 상기 박막의 내부 응력은, 상기 메탄 농도에 의하여 조정되고, 상기 박막의 표면 모르폴로지(Morphology)는, 상기 메탄 농도 및 코팅 대상물의 온도에 의하여 조정되는 것을 그 특징으로 하여, 내부 응력이
소정의 초단파 파워(Microwavepower), 진공도, 메탄농도(CH4 concentration), 및 코팅 대상물의 온도 등의 증착(deposition) 조건에 따라 수행되는 다이아몬드 박막 코팅방법에 있어서, 상기 박막의 내부 음력은, 상기 메탄 농도에 의하여 조정되고, 상기 박막의 표면 모르폴로지(Morphology)는, 상기 메탄 농도 및 코팅 대상물의 온도에 의하여 조정되는 것을 그 특징으로 하는 다이아몬드 박막 코팅 방법.
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