초록 ▼

본 발명은 센서내의 전류와 자기장에 의해 형성되는 로렌츠힘에 의해 센서의 질량체가 종방향으로 진동되게 함으로써 센서의 감도를 향상시킨 각속도센서를 제공하기 위한 것이다.이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 각속도센서는, 적어도 2개의 질량체와, 상기 질량체를 각각 지지틀에 진동가능하게 지지함과 동시에 피에조 저항 및 AC 전류를 흘러주기 위한 전극이 형성된 양팔보와, 상기 AC 전류와 직교하는 자기장을 발생하는 자기장 발생수단을 구비하여 상기 AC 전류와 자기장에 의해 발생되는 로렌츠힘으로 인한 상기 진동체의 진동시 이에 가해

본 발명은 센서내의 전류와 자기장에 의해 형성되는 로렌츠힘에 의해 센서의 질량체가 종방향으로 진동되게 함으로써 센서의 감도를 향상시킨 각속도센서를 제공하기 위한 것이다.이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 각속도센서는, 적어도 2개의 질량체와, 상기 질량체를 각각 지지틀에 진동가능하게 지지함과 동시에 피에조 저항 및 AC 전류를 흘러주기 위한 전극이 형성된 양팔보와, 상기 AC 전류와 직교하는 자기장을 발생하는 자기장 발생수단을 구비하여 상기 AC 전류와 자기장에 의해 발생되는 로렌츠힘으로 인한 상기 진동체의 진동시 이에 가해지는 각속도에 비례하는 코리올리힘에 의해 변하는 상기 피에조 저항값을 감지하여 각 속도를 측정하기 위한 각속도 센서에 있어서, 상기 질량체를 소정 공동부를 사이에 두고 상하로 배치함과 동시에 상기 양팔보를 통하여 진동가능하게 질량체를 지지하는 지지틀의 단부를 접합하게 구성하여 상기 질량체가 상기 로렌츠힘에 의해 종방향으로 진동되게 함을 특징으로 하고 있다.

대표청구항 ▼

적어도 2개의 질량체와, 상기 질량체를 각각 지지틀에 진동가능하게 지지함과 동시에 피에조 저항 및 AC 전류를 흘러주기 위한 전극이 형성된 양팔보와, 상기 AC 전류와 직교하는 자기장을 발생하는 자기장 발생수단을 구비하여 상기 AC 전류와 자기장에 의해 발생되는 로렌츠힘으로 인한 상기 진동체의 진동시 이에 가해지는 각 속도에 비례하는 코리올리 힘에 의해 변하는 상기 피에조 저항값을 감지하여 각 속도를 측정하기 위한 각속도 센서에 있어서,상기 질량체를 소정 공동부를 사이에 두고 상하로 배치함과 동시에 상기 양팔보를 통하여 진동가능하게

적어도 2개의 질량체와, 상기 질량체를 각각 지지틀에 진동가능하게 지지함과 동시에 피에조 저항 및 AC 전류를 흘러주기 위한 전극이 형성된 양팔보와, 상기 AC 전류와 직교하는 자기장을 발생하는 자기장 발생수단을 구비하여 상기 AC 전류와 자기장에 의해 발생되는 로렌츠힘으로 인한 상기 진동체의 진동시 이에 가해지는 각 속도에 비례하는 코리올리 힘에 의해 변하는 상기 피에조 저항값을 감지하여 각 속도를 측정하기 위한 각속도 센서에 있어서,상기 질량체를 소정 공동부를 사이에 두고 상하로 배치함과 동시에 상기 양팔보를 통하여 진동가능하게 질량체를 지지하는 지지틀의 단부를 접합하게 구성하여 상기 로렌츠힘에 의해 상기 질량체가 종방향으로 진동되게 함을 특징으로 하는 각속도센서.