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금속박판의 에칭에 있어서의 표면처리방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23F-001/00
출원번호 10-1996-0044538 (1996-10-08)
공개번호 10-1997-0027371 (1997-06-24)
등록번호 10-0213575-0000 (1999-05-14)
DOI http://doi.org/10.8080/1019960044538
발명자 / 주소
  • 미야지 야스요시 / 일본국 시가켄 히코네시 다카미야죠오 ***반치노 * 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 내
  • 니시쿠보 히로아키 / 일본국 시가켄 히코네시 다카미야죠오 ***반치노 * 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소
  • 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 / 일본국 교오토후 교오토시 가미쿄오쿠 호리카와도오리테라노우치아가루 * 죠메 텐진키타초 *반치노 *
대리인 / 주소
  • 임석재; 윤우성 (YIM, Suk Jae)
  • 서울특별시 강남구 역삼동 ***-* 풍림빌딩 *층(특허법인 원전); 서울 강남구 역삼*동 성지하이츠*차빌딩 ***호((만민국제특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (1996-10-08)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

부동태화현상이 생기기 쉬운 철ㆍ니켈합금이나 스텐레스강계합금으로 이루어지는 금속박판의 피에칭면에 피착된 산화피막이나 레지스트잔막을 피에칭면에서 안정하고도 확실하게 제거할 수 있는 표면처리방법을 제공한다. 표면처리조(20) 내의 표면처리액(18) 속에서 금속박판(10)을 전위적으로 보동태영역에서 수소발생영역으로 음분극시켜 표면처리한다. 표면처리조 내의 표면처리액의 일부를 채취하여 전해조에 수용하고, 금속박판으로부터 베어낸 금속박판편을 전해조 내의 표면처리액 중에 침지시켜 금속박판편과 대극과의 사이에 전압을 인가하여 전위주사하고, 얻어진

대표청구항

현상처리된 레지스트막이 피착된 철ㆍ니켈합금 또는 스텐레스강계합금으로 이루어지는 금속박판을 에칭 처리하기 전에, 관산화수소를 함유하는 산의 희박용액으로 이루어지고 표면처리조 내에 수용된 표면처리액 중에 상기 금속박판을 첨지시켜, 그 피에칭면을 피복하고 있는 산화피막이나 레지스트잔막을 피에칭면에서 제거하여 표면처리하는 금속박판의 에칭에 있어서의 표면처리방법에 있어서, 상기 표면처리조 내의 표면처리액 속에서 상기 금속박판을 전위적으로 부동태영역에서 수소발생영역으로 음분극시켜 표면처리를 하도록 하고, 표면처리를 하기 전 또는 표면처리 중에

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