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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1996-0700737 (1996-02-10) |
등록번호 | 10-0121454-0000 (1997-08-27) |
국제출원번호 | PCT/JP1991/000359 (1991-03-15) |
국제공개번호 | WO1991013697 (1991-09-19) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019960700737 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1996-02-10) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본원 발명은 세정방법 및 세정장치에 관한 것으로, 유기규소계 세정제나 이소파라핀계 세정제 등으로 이루어지는 기초 세정제에 세정성능 향상제로서 계면활성제나 친수성용제를 첨가 배합한 세정제로 세정하며 상기 제1세정공정을 거친 피세정물을 상기 기초세정제로 세척 세정한 후 온풍건조나 증기건조에 의해 건조 마무리를 하고 기초세정제는 회수, 재이용할 수 있기 때문에 복수의 세정제를 사용할 경우에 경제성이 향상되며 유기규소계 세정제나 이소파라핀계 세정제에 계면활성제나 친수성용제를 첨가 배합한 세정제를 사용하고 있기 때문에 플론계에 필적하는 탈지
대표청구항이 없습니다.
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