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연합인증

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[한국특허] 세정방법 및 세정장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • B08B-003/08
출원번호 10-1996-0700737 (1996-02-10)
등록번호 10-0121454-0000 (1997-08-27)
국제출원번호 PCT/JP1991/000359 (1991-03-15)
국제공개번호 WO1991013697 (1991-09-19)
DOI http://doi.org/10.8080/1019960700737
발명자 / 주소
  • 가부키 키미아키 / 일본국 도쿄도 오타쿠 신카마타 *-**-**
  • 이마조 야스타카 / 일본국 도쿄도 하치오지시 마츠가야 **-*
  • 이나다 미노루 / 일본국 가나가와켄 요코하마시 이소고쿠 시오미다이 *-****-****
  • 야기 노리아키 / 일본국 가나가와켄 요코하마시 도츠카쿠 도츠카초 ****-D***
  • 사이토 노부히로 / 일본국 군마켄 오타시 토리야마 ***-**
출원인 / 주소
  • 져판 필드 가부시키가이샤 / 일본국 도쿄도 네리마쿠 오이즈미가쿠엔 마치 *-**-*
  • 가부시끼가이샤 도시바 / 일본국 도꾜도 미나또꾸 시바우라 *쪼메 *방 *고
  • 도시바 마이크로일렉트로닉스 가부시키가이샤 / 일본 가나가와현 가와사키시 가와사키구 에키마에혼정 **-*
대리인 / 주소
  • 김명신; 강성구 (KIM, Myung Shin)
  • 서울 마포구 도화*동 **번지 진도빌딩 **층; 서울 강남구 역삼동 ***-** 여삼빌딩*층 영인국제특허법률사무소
심사청구여부 있음 (1996-02-10)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록 ▼

본원 발명은 세정방법 및 세정장치에 관한 것으로, 유기규소계 세정제나 이소파라핀계 세정제 등으로 이루어지는 기초 세정제에 세정성능 향상제로서 계면활성제나 친수성용제를 첨가 배합한 세정제로 세정하며 상기 제1세정공정을 거친 피세정물을 상기 기초세정제로 세척 세정한 후 온풍건조나 증기건조에 의해 건조 마무리를 하고 기초세정제는 회수, 재이용할 수 있기 때문에 복수의 세정제를 사용할 경우에 경제성이 향상되며 유기규소계 세정제나 이소파라핀계 세정제에 계면활성제나 친수성용제를 첨가 배합한 세정제를 사용하고 있기 때문에 플론계에 필적하는 탈지

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