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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-1997-0015441 (1997-04-24) |
공개번호 | 10-1998-0078051 (1998-11-16) |
등록번호 | 10-0429176-0000 (2004-04-14) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019970015441 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2002-02-18) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
전자기적 힘을 이용한 액체분사장치에 관한 것으로, 영구자석으로 이루어진 기판과, 기판상의 가장자리영역에 형성되는 갭층과, 갭층상에 걸쳐 형성되는 다이아프램과, 기판과 마주보도록 다이아프램 하부에 형성되는 박막 코일과, 다이아프램상에 형성되는 액체 저장부와, 액체 저장부상에 형성되는 복수개의 노즐을 갖는 오러피스 플레이트로 구성됨으로써, 액체분사장치의 집적화, 소형화, 고성능화가 가능하고, 제조공정이 간단하여 전체적인 공정가를 줄일 수 있다.
영구자석으로 이루어진 기판;상기 기판상의 가장자리영역에 형성되는 갭층;상기 갭층상에 걸쳐 형성되는 다이아프램;상기 기판과 마주보도록 상기 다이아프램 하부에 형성되는 박막 코일;상기 다이아프램상에 형성되는 액체 저장부;상기 액체 저장부상에 형성되는 복수개의 노즐을 갖는 오러피스 플레이트로 구성됨을 특징으로 하는 액체분사장치.제 1 항에 있어서, 상기 박막 코일은 스파이럴 형태로 형성됨을 특징으로 하는 액체분사장치.제 1 항에 있어서, 상기 박막 코일은 상기 각 노즐에 상응되도록 다이아프램 하부에 복수개로 형성됨을 특징으로 하는 액체분
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