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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1997-0025989 (1997-06-20) |
공개번호 | 10-1998-0006398 (1998-03-30) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019970025989 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2002-05-09) |
심사진행상태 | 포기(등록료 미납) |
법적상태 | 포기 |
본 발명의 목적은 공기 스프링과 적은 용량을 갖는 전자기 작동기의 조합에 기초하여, 테이블 상의 목표 장비의 이동에 의해 초래되는 진동 방지 테이블의 무게가 큰 거리를 이동할 경우에도 진동 방지 테이블을 수평 위치로 유지할 수 있는 조밀한 진동 감쇄 장치를 제공하는 것이다. 진동 방지 테이블 상의 목표 장비의 바닥 진동을 차단하고 진동을 감쇄시키는 진동 감쇄 장치는; 적어도 3개의 변위 센서, 가속 센서, 부양 위치 제어 수단, 진동 감쇄 제어 수단, 및 공기압에 의해 진동 방지 테이블의 4개의 모서리를 지지하는 공기 스프링 작동기
공기 스프링과 전자기 작동기의 조합 작동에 기초하여 진동방지 테이블 상의 목표 장비의 바닥 진동을 차단하거나 진동을 감쇄시키는 진동 감쇄 장치에 있어서, 수직 위치를 검출하고 변위 신호를 출력하는 적어도 3개의 변위 센서; 상기 진동방지 테이블의 수직 가속도를 검출하고 가속 신호를 출력하는 가속 센서; 상기 변위 센서로부터의 변위 신호에 기초한 제 1 보상 회로 출력 신호에 따른 상기 전자기 작동기용 부양 위치 제어 수단; 상기 가속 센서로부터의 가속 신호에 기초한 제 2 보상 회로 출력 신호에 따른 상기 전자기 작동기용 진동 감쇄
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