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[한국특허] 세정용 2류 체제 트 노즐 및 이것을 이용한 세정 장치와 세정 방법
TWO-FLUID CLEANING JET NOZZLE AND CLEANING APPARATUS AND METHOD UTILIZING THE SAME
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • B05B-001/02
  • B05B-001/02
출원번호 10-1997-0045664 (1997-09-03)
공개번호 10-1998-0063459 (1998-10-07)
등록번호 10-0276620-0000 (2000-10-02)
DOI http://doi.org/10.8080/1019970045664
발명자 / 주소
  • 칸노 이타루 / 일본국 도오교도 지요다구 마루노우찌 *쪼메 *-*미쓰비시 뎅끼 가부시끼가이샤 나이
  • 오가와 미츠히로 / 일본국 오오사카시 니시구 유츠보혼마치 *쪼메 *-**다이요토요산소 가부시끼가이샤 나이
  • 타다 마스오 / 일본국 오오사카시 니시구 유츠보혼마치 *쪼메 *-**다이요토요산소 가부시끼가이샤 나이
출원인 / 주소
  • 다이요토요산소 가부시끼가이샤 / 일본국 오오사카시 니시구 유츠보혼마치 *쪼메 *-**
  • 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 / 일본국 도쿄도 지요다쿠 마루노우치 *쵸메 *반 *고
대리인 / 주소
  • 이화익 (LEE, Hwa Ik)
  • 서울 강남구 역삼동 ***-** 여삼빌딩 *층
심사청구여부 있음 (1997-09-03)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

반도체 기판 등에 부착된 미세한 이물을 기판을 손상하지 않고 강력하게 제거한다.액적(液滴)을 공기중에 분사해서 반도체 기판 등의 표면에 부착된 이물을 세정하기 위한 세정용 2류체제트노즐에 있어서, 가압된 개스와 액체를 혼합해서 액적을 형성하는 혼합부의 개스유로의 단면적을, 액적을 개스와 함께 가속해서 공기중에 분사하는 가속관 유로의 단면적보다 크게 형성한다. 또, 가속관은 원형직관 형상 또는 라발(Lavel)노즐 형상으로 한다.

대표청구항

가압된 개스와 액체를 혼합해서 액적을 형성하는 혼합부와,상기 액적을 공기중에 분사하는 가속관부를 구비하고, 상기 혼합부의 상기 개스 유통로의 최소부분 단면적을, 상기 가속관부 유통로의 최소부분의 단면적보다 크게 형성한 것을 특징으로 하는 세정용 2류체제트노즐.

이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. [한국] 기판세정용 유체분사장치 | 윤근식, 김석주
  2. [한국] 수세용 세정 노즐 | 조재승, 구자용, 박성인, 조시형
  3. [한국] 농업용 드론 노즐 | 정성용, 김성근, 문종운, 최희원, 김지연
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