[특허]세정용 2류 체제 트 노즐 및 이것을 이용한 세정 장치와 세정 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	B05B-001/02 B05B-001/02
출원번호	10-1997-0045664 (1997-09-03)
공개번호	10-1998-0063459 (1998-10-07)
등록번호	10-0276620-0000 (2000-10-02)
DOI	http://doi.org/10.8080/1019970045664
발명자 / 주소	칸노 이타루 / 일본국 도오교도 지요다구 마루노우찌 쪼메 -미쓰비시 뎅끼 가부시끼가이샤 나이 오가와 미츠히로 / 일본국 오오사카시 니시구 유츠보혼마치 쪼메 -다이요토요산소 가부시끼가이샤 나이 타다 마스오 / 일본국 오오사카시 니시구 유츠보혼마치 쪼메 -*다이요토요산소 가부시끼가이샤 나이
출원인 / 주소	다이요토요산소 가부시끼가이샤 / 일본국 오오사카시 니시구 유츠보혼마치 쪼메 -** 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 / 일본국 도쿄도 지요다쿠 마루노우치 쵸메 반 *고
대리인 / 주소	이화익 (LEE, Hwa Ik) 서울 강남구 역삼동 *- 여삼빌딩 *층
심사청구여부	있음 (1997-09-03)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록

반도체 기판 등에 부착된 미세한 이물을 기판을 손상하지 않고 강력하게 제거한다.액적(液滴)을 공기중에 분사해서 반도체 기판 등의 표면에 부착된 이물을 세정하기 위한 세정용 2류체제트노즐에 있어서, 가압된 개스와 액체를 혼합해서 액적을 형성하는 혼합부의 개스유로의 단면적을, 액적을 개스와 함께 가속해서 공기중에 분사하는 가속관 유로의 단면적보다 크게 형성한다. 또, 가속관은 원형직관 형상 또는 라발(Lavel)노즐 형상으로 한다.

대표청구항

가압된 개스와 액체를 혼합해서 액적을 형성하는 혼합부와,상기 액적을 공기중에 분사하는 가속관부를 구비하고, 상기 혼합부의 상기 개스 유통로의 최소부분 단면적을, 상기 가속관부 유통로의 최소부분의 단면적보다 크게 형성한 것을 특징으로 하는 세정용 2류체제트노즐.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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