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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1997-0066929 (1997-12-09) |
공개번호 | 10-1999-0048279 (1999-07-05) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019970066929 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1997-12-09) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
개시된 내용은 반도체칩 및 전자전기회로의 누설전류 검사방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명의 전압측정에 의한 누설전류 검사방법 및 장치는, 직렬연결된 저항성분의 비율로 결정된 연결단자의 전압을, 누설전류를 검사하고자 하는 해당 핀(단자)에 인가하고, 연결부의 전압을 측정하여 저항성분비로 정해진 전압과 비교하여 누설전류를 파악하는, 누설전류 검사방법 및 장치이다. 따라서, 본 발명은 반도체칩이나 복잡한 전자전기적인 회로의 누설전류를 정확하게 검사하므로써, 검사의 효율성을 향상시키는 효과를 제공한다.
누설전류 검사방법에 있어서,(1) 직렬연결된 2개의 저항성분에 의한 비율로 연결부의 전압을 결정하는 단계;(2) 검사할 반도체칩 및 전자전기회로의 해당단자에 연결하는 단계; 및,(3) 저항성분 연결부에서 측정된 전압과, 저항성분비로 결정된 전압을 비교하여 누설전류를 검사하는 단계를 포함하는, 전압측정에 의한 누설전류 검사방법.
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