초록 ▼

용기(20)를 수용하기 위하여 형성되어 용기의 외형과 대략 상사형(相似形)의 공간을 가지는 중공상(中空狀)의 외부전극(12)과, 이 외부전극의 공간에에 용기가 수용되었을 때에 이 용기의 입구가 맞닿는 동시에 외부전극을 절연하는 절연판(11)과, 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 용기의 입구로부터 삽입되는 내부전극(16)과 외부전극의 공간내에 연통되어 공간내의 배기를 행하는 배기수단과, 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 원료가스를 공급하는 공급수단과, 외부전극에 접속된 고주파전원(14)과를 구비하고 있으며, 외부전극의

용기(20)를 수용하기 위하여 형성되어 용기의 외형과 대략 상사형(相似形)의 공간을 가지는 중공상(中空狀)의 외부전극(12)과, 이 외부전극의 공간에에 용기가 수용되었을 때에 이 용기의 입구가 맞닿는 동시에 외부전극을 절연하는 절연판(11)과, 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 용기의 입구로부터 삽입되는 내부전극(16)과 외부전극의 공간내에 연통되어 공간내의 배기를 행하는 배기수단과, 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 원료가스를 공급하는 공급수단과, 외부전극에 접속된 고주파전원(14)과를 구비하고 있으며, 외부전극의 공간내에 용기를 수용하여 외부전극을 절연부재에 의하여 절연하고, 용기내에 내부전극을 삽입하는 동시에 이 내부전극을 접지하고, 외부전극의 공간내를 배기하고, 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 원료가스를 공급한 후, 외부전극에 고주파를 인가하여 탄소막코팅을 행한다.

대표청구항 ▼

용기를 수용하기 위하여 형성되어 수용되는 용기의 외형과 대락 상사형(相似形)의 공간을 가지는 중공상(中空狀)의 외부전극과,이 외부전극의 공간내에 용기가 수용되었을 때에 이 용기의 입구가 맞닿는 동시에 외부전극을 절연하는 절연부재와, 접지되어 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 용기의 입구로부터 삽입되는 내부전극과, 외부전극의 고안내에 연통되어 공간내의 배기를 행하는 배기수단과, 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 원료가스를 공급하는 공급수단과, 외부전극에 접속된 고주파전원파를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 탄소막코팅

용기를 수용하기 위하여 형성되어 수용되는 용기의 외형과 대락 상사형(相似形)의 공간을 가지는 중공상(中空狀)의 외부전극과,이 외부전극의 공간내에 용기가 수용되었을 때에 이 용기의 입구가 맞닿는 동시에 외부전극을 절연하는 절연부재와, 접지되어 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 용기의 입구로부터 삽입되는 내부전극과, 외부전극의 고안내에 연통되어 공간내의 배기를 행하는 배기수단과, 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 원료가스를 공급하는 공급수단과, 외부전극에 접속된 고주파전원파를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조장치.청구항1에 있어서, 상기 내부전극의 외형이 외부전극의 공간내에 수용되는 용기의 내벽면의 형상과 대략 상사형으로 형성되어 있는 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조장치.청구항1에 있어서 상기 내부전극에 원료가스의 분출공이 형성되어, 상기 공급수단으로부터 공급되는 원료가스가, 내부전극의 분출공으로부터 외부전극의 공간내에 수용된 용기내에 분출되는 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조장치.청구항3에 있어서, 상기 내부전극의 분출공이, 1개 또는 복수개 형성되어 있는 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조장치.청구항1에 있어서, 상기 절연부재에 홈부가 형성되고, 이 절연부재에 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 입구가 맞닿았을 때, 외부전극의 내벽면과 용기의 외벽면과의 사이에 형성되는 공간과 용기의 내부가 홈부에 의하여 연통되는 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조장치.청구항1에 있어서, 상기 용기가 음료용 병인 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조장치.용기를 수용하여 수용되는 용기의 외형과 대략 상사형의 공간을 외부전극에 형성하고, 이 공간내에 수용되는 용기의 입구부가 맞닿는 절연부재에 의하여 외부전극을 절연하고, 공간내에 수용된 용기의 내측에 용기의 입구로부터 내부전극을 삽입하는 동시에 이 내부전극을 접지하고, 외부전극의 공간내를 배기하고, 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 원료가스를 공급한 후, 외부전극에 고주파를 인가하는 것을 특징으로 하는 탄소막 코팅 플라스틱용기의 제조방법.청구항7에 있어서, 상기 용기가 음료용 병인 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조방법.청구항7에 있어서, 상기 외부전극의 내벽면과 이 외부전극내에 수용된 용기의 외벽면과의 사이의 간격 및 이 용기의 내벽면과 내부전극의 외벽면과의 사이의 간격을 대략 균일하게 유지하는 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조방법.청구항7에 있어서, 상기 절연부재에 홈을 형성하고, 이 홈을 통하여 용기의 내부공간과 함께 용기의 외벽면과 외부전극의 내벽면과의 사이의 외부공간도 배기하는 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조방법.청구항10에 있어서, 상기 용기의 외벽면과 외부전극의 내벽면과의 사이의 외부공간의 배기 직후에 외부전극의 공간내에 수용된 용기의 내측에 원료가스를 공급하는 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조방법.청구항7에 있어서, 플라스틱용기에 탄소막코팅하기 전에, 무가가스에 의하여 플라즈마처리를 행하는 탄소막코팅 플라스틱용기의 제조방법 청구항7에 이어서, 외부전극의 공간내의 배기에 의한 진공도가10-2∼10-5torr인 탄소막코팅 플라스틱용기 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.