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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-1998-0001190 (1998-01-16) |
| 공개번호 | 10-1999-0065756 (1999-08-05) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1019980001190 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
| 법적상태 | 취하 |
물질이 통과하는 주관에 연결되어 주관을 통과하는 물질의 특성을 검출하기 위한 부관의 기능이 상기 주관과 부관의 연결부위가 주관을 통과하는 물질의 파우더 등에 의하여 봉쇄되어 부관이 제기능을 발휘하지 못하는 것을 방지할 수 있는 반도체 제조 장치의 물질 이동 통로에 관하여 개시한다. 주관에 연결된 슬로우 펌프 라인을 봉쇄하여 펌핑 속도를 저하시키거나, 파우더 등의 누적으로 인하여 쳄버 분위기를 오염시키거나 하는 등의 문제가 발생하는 경우 공정 쳄버 내부의 상태가 정상이라 하여도 펌핑 라인 또는 펌핑 밸브를 교체하거나 세정한 후에 재사
주관 내부를 통과하는 물질의 파우더에 의하여 주관에 연결된 부관의 입구가 막히는 것을 방지하기 위하여 주관 내벽에 대하여 부관 입구가 주관 내부로 돌출되어 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 물질 이동 통로.
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