최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 10-1999-0009352 (1999-03-19) |
공개번호 | 10-2000-0060756 (2000-10-16) |
등록번호 | 10-0474832-0000 (2005-02-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019990009352 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2002-06-24) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 압전 재료를 이용한 초미세 잉크 젯트 프린터 헤드 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 압전 재료를 이용한 잉크젯 프린터 헤드는, (100)면 혹은 (110)면 벌크 Si 기판을 이용해서 노즐, 공통 잉크 유로 및 잉크 주입 채널이 압력 챔버와 일체형으로 형성되고, PZT와의 반응이 무시할 정도 인 ZrO2 후막을 진동판으로 사용함으로써 반응 방지막으로 사용 할 수 있고, 특히 ZrO2는 고온에서 견디므로 넓은 영역에서 PZT 조성을 소결할 수 있게 됨으로써, 구조가 간단하면서도 그 규격을 작게할 수 있을
하나의 격벽을 사이에 두고 압력 챔버와 공통 잉크 유로가 형성된 벌크 실리콘 기판의 양면에 각각 노즐판과 진동판이 형성되되, 상기 압력 챔버를 사이에 두고 상기 노즐판의 노즐과 상기 진동판 외측에 부착된 압전판이 서로 대향하도록 일체형으로 형성되고 상기 격벽에는 상기 공통 잉크 유로의 잉크가 상기 압력 챔버로 유입되도록 하는 잉크 유입 채널이 형성되며, 상기 진동판은 8~10μm 두께의 ZrO2 후막으로 형성된 것을 특징으로 하는 압전 재료를 이용한 잉크젯 프린터 헤드.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.