초록 ▼

본 발명은 지상에서 우주환경을 모사하는 열진공챔버에 사용되는 진공펌프에 있어서 LN2의 소모량을 최소로 하면서 오염물질을 쉽게 흡착시킬 수 있고, 흡착된 기름증기 및 수증기들을 쉽게 제거할 수 있도록 하는 열진공챔버 진공펌프 동작시 오염제거용 콜드 트랩에 관한 것이다.종래에는 이러한 콜드 트랩없이 진공펌프와 열진공펌프를 직접 연결하여 사용하거나, 진공펌프와 열진공챔버 사이의 배관옆에 LN2등을 순환형태로 그대로 흐르게 하여 배관을 냉각시키는 방식이다.따라서 본 발명은 진공펌프(3)와 챔버(13)가 양쪽으로 연결되고 하측에 드레인밸브

본 발명은 지상에서 우주환경을 모사하는 열진공챔버에 사용되는 진공펌프에 있어서 LN2의 소모량을 최소로 하면서 오염물질을 쉽게 흡착시킬 수 있고, 흡착된 기름증기 및 수증기들을 쉽게 제거할 수 있도록 하는 열진공챔버 진공펌프 동작시 오염제거용 콜드 트랩에 관한 것이다.종래에는 이러한 콜드 트랩없이 진공펌프와 열진공펌프를 직접 연결하여 사용하거나, 진공펌프와 열진공챔버 사이의 배관옆에 LN2등을 순환형태로 그대로 흐르게 하여 배관을 냉각시키는 방식이다.따라서 본 발명은 진공펌프(3)와 챔버(13)가 양쪽으로 연결되고 하측에 드레인밸브(5)를 설치하는 외부용기(1)와, 상기 외부용기(1)의 내부에 설치되며 상측에 LN2 공급관(9)과 배기관(11)이 연결되는 덮개(8)를 설치하여 외부용기(1)와 이중구조를 갖는 내부용기(2)로 구성하고, 내부용기(2)에 연결되는 LN2 공급관(9)에는 전자밸브(10)를, 안쪽에 온도센서(12)를 설치하여 열진공챔버내로 기름증기가 역류되는 것을 방지하고 LN2의 소모량을 절약하는 것이다.

대표청구항

진공펌프(3)와 챔버(13)가 양쪽으로 연결되는 외부용기(1)와,상기 외부용기(1)의 내부에 설치되며 상측에 LN2 공급관(9)과 배기관(11)이 연결되는 덮개(8)를 설치하여 외부용기(1)와 이중구조를 갖는 내부용기(2)로 이루어진 콜드 트랩(20)으로 구성됨을 특징으로 하는 열진공챔버 진공펌프 동작시 오염제거용 콜드 트랩.

진공펌프(3)와 챔버(13)가 양쪽으로 연결되는 외부용기(1)와,상기 외부용기(1)의 내부에 설치되며 상측에 LN2 공급관(9)과 배기관(11)이 연결되는 덮개(8)를 설치하여 외부용기(1)와 이중구조를 갖는 내부용기(2)로 이루어진 콜드 트랩(20)으로 구성됨을 특징으로 하는 열진공챔버 진공펌프 동작시 오염제거용 콜드 트랩.