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불산 사용 대체를 위한 유리의 세정식각 조성물 및처리방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C03C-015/00
출원번호 10-2000-0071519 (2000-11-29)
공개번호 10-2002-0041880 (2002-06-05)
DOI http://doi.org/10.8080/1020000071519
발명자 / 주소
  • 이을규 / 경기도안산시일동***-*번지
출원인 / 주소
  • 이을규 / 경기도 안산시 성곡동 ***-* 전영화학 (주)
심사청구여부 있음 (2000-11-29)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

본 발명은 SiO2 또는 각 금속성분이 포함된 SiO2 로 구성된 유리(GLASS)의 표면세정 및 식각에 사용되는 세정조성물과 그 처리방법에 관한 것으로서 세정조성물은 설폰산 이온을 가진 유기산, 불소이온을 가진 무기염, 카르복실기를 포함한 유기산, 에테르 용제, 양이온 계면활성제 및 알카리족 금속으로 구성되며, 본 조성물을 사용하여 유리표면 세정시 불산(HF)의 과도한 부식작용 및 유해성을 현저히 감소시키며, 유리 표면의 오염물 세정력을 장시간 유지할 수 있다.

대표청구항

SiO2 또는 SiO2에 금속성분이 포함된 유리로 구성된 재료를 식각세정함에 있어 물 1L에 대하여 설폰산 이온을 함유한 유기산 10 ~ 50g/ℓ, 불소이온을 함유한 무기염 1 ~ 300g/ℓ를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리식각 세정 조성물.

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 전자 표시 장치 및 기판용 세정 및 식각 조성물 | 이기원
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