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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2001-0048034 (2001-08-09) |
등록번호 | 10-0326757-0000 (2002-02-19) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020010048034 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2001-08-09) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
리니어 모터에서 온도에 따라 길이가 변화하는 리니어 스케일러의 오차를 보정하기 위한 방법이 제공된다.메인 리니어 스케일러 및 보조 리니어 스케일러를 구비하는 리니어 모터에서, 메인 리니어 스케일러의 온도 변화에 대한 오차를 보정하는 방법으로서, 헤드를 구동하여 메인 리니어 스케일러 및 보조 리니어 스케일러를 일정 길이 x만큼 스캐닝하여, 일정 길이 x에 대해 메인 리니어 스케일러에 의해 판독한 상대 길이 A와 보조 리니어 스케일러에 의해 판독한 상대길이 B를 검출하는 단계; 제어부에서 메인 리니어 스케일러의 열팽창 계수 α 및 보조
리니어 모터의 물리적 영점의 기준이 되는 제1 및 제2 레퍼런스 마크를 구비하며 직선 운동의 축이 되는 고정자, 상기 고정자를 축으로 하여 직선 운동을 수행하는 이동자, 리니어 스케일러를 직선으로 이동하며 스캐닝하는 헤드 및 상기 리니어 모터를 구동하기 위한 제어부를 포함하며, 상기 고정자는 상기 이동자의 이동 거리를 결정하기 위해 메인 리니어 스케일러 및 보조 리니어 스케일러를 구비하는 리니어 모터에서 상기 메인 리니어 스케일러의 온도 변화에 대한 오차를 보정하는 방법으로서,(a) 상기 헤드를 구동하여 상기 메인 리니어 스케일러
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