초록 ▼

리니어 모터에서 온도에 따라 길이가 변화하는 리니어 스케일러의 오차를 보정하기 위한 방법이 제공된다.메인 리니어 스케일러 및 보조 리니어 스케일러를 구비하는 리니어 모터에서, 메인 리니어 스케일러의 온도 변화에 대한 오차를 보정하는 방법으로서, 헤드를 구동하여 메인 리니어 스케일러 및 보조 리니어 스케일러를 일정 길이 x만큼 스캐닝하여, 일정 길이 x에 대해 메인 리니어 스케일러에 의해 판독한 상대 길이 A와 보조 리니어 스케일러에 의해 판독한 상대길이 B를 검출하는 단계; 제어부에서 메인 리니어 스케일러의 열팽창 계수 α 및 보조

리니어 모터에서 온도에 따라 길이가 변화하는 리니어 스케일러의 오차를 보정하기 위한 방법이 제공된다.메인 리니어 스케일러 및 보조 리니어 스케일러를 구비하는 리니어 모터에서, 메인 리니어 스케일러의 온도 변화에 대한 오차를 보정하는 방법으로서, 헤드를 구동하여 메인 리니어 스케일러 및 보조 리니어 스케일러를 일정 길이 x만큼 스캐닝하여, 일정 길이 x에 대해 메인 리니어 스케일러에 의해 판독한 상대 길이 A와 보조 리니어 스케일러에 의해 판독한 상대길이 B를 검출하는 단계; 제어부에서 메인 리니어 스케일러의 열팽창 계수 α 및 보조 리니어 스케일러의 열팽창 계수 β를 참조하여 온도를 계산하는 단계; 및 계산된 온도에 의해 메인 리니어 스케일러의 오차를 보정하는 단계;로 이루어진다.이와 같은 방법에 의하면 별도의 외부 장비를 도입하지 않고도 스케일러의 각 구간에서 변화하는 열팽창 정도에 따라 리니어 스케일러의 오차를 정밀하게 보정할 수 있다.

대표청구항 ▼

리니어 모터의 물리적 영점의 기준이 되는 제1 및 제2 레퍼런스 마크를 구비하며 직선 운동의 축이 되는 고정자, 상기 고정자를 축으로 하여 직선 운동을 수행하는 이동자, 리니어 스케일러를 직선으로 이동하며 스캐닝하는 헤드 및 상기 리니어 모터를 구동하기 위한 제어부를 포함하며, 상기 고정자는 상기 이동자의 이동 거리를 결정하기 위해 메인 리니어 스케일러 및 보조 리니어 스케일러를 구비하는 리니어 모터에서 상기 메인 리니어 스케일러의 온도 변화에 대한 오차를 보정하는 방법으로서,(a) 상기 헤드를 구동하여 상기 메인 리니어 스케일러

리니어 모터의 물리적 영점의 기준이 되는 제1 및 제2 레퍼런스 마크를 구비하며 직선 운동의 축이 되는 고정자, 상기 고정자를 축으로 하여 직선 운동을 수행하는 이동자, 리니어 스케일러를 직선으로 이동하며 스캐닝하는 헤드 및 상기 리니어 모터를 구동하기 위한 제어부를 포함하며, 상기 고정자는 상기 이동자의 이동 거리를 결정하기 위해 메인 리니어 스케일러 및 보조 리니어 스케일러를 구비하는 리니어 모터에서 상기 메인 리니어 스케일러의 온도 변화에 대한 오차를 보정하는 방법으로서,(a) 상기 헤드를 구동하여 상기 메인 리니어 스케일러 및 보조 리니어 스케일러를 일정 길이 x만큼 스캐닝하여, 상기 일정 길이 x에 대해 상기 메인 리니어 스케일러에 의해 판독한 상대 길이 A와 상기 보조 리니어 스케일러에 의해 판독한 상대길이 B를 검출하는 단계;(b) 상기 제어부에서 상기 메인 리니어 스케일러의 열팽창 계수 α 및 상기 보조 리니어 스케일러의 열팽창 계수 β를 참조하여 수학식 T=(A-B)/(α-β)에 따른 연산을 수행하여 온도 T를 계산하는 단계; 및(c) 상기 계산된 온도에 의해 상기 메인 리니어 스케일러의 오차를 보정하는 단계;를 포함하는 리니어 모터에서 온도 변화에 대한 스케일러의 오차 보정 방법.