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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2001-0064154 (2001-10-18) |
| 공개번호 | 10-2003-0032402 (2003-04-26) |
| 등록번호 | 10-0538654-0000 (2005-12-19) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020010064154 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2001-10-18) |
| 심사진행상태 | 등록결정(취소환송후) |
| 법적상태 | 소멸 |
제조가 용이하고 생산수율 및 생산성을 향상시키기 위하여, 기판 위에 소정의 패턴으로 형성하는 하부전극과, 하부전극과 동일한 기판상에 서로 단락되지 않도록 형성되는 상부전극 패드부와, 상부전극 패드부의 일부 및 하부전극 위에 형성하는 압전박막과, 압전박막 위에 형성되는 상부전극과, 상부전극으로부터 상부전극 패드부쪽으로 일체로 돌출 연장되어 형성되고 상부전극 패드부와 상부전극을 서로 연결하는 이음부를 포함하는 압전박막 공진기를 제공한다.또 기판 위에 소정의 패턴으로 전도성 재료를 도포하여 하부전극 및 상부전극 패드부를 형성하는 하부전
기판 위에 소정의 패턴으로 형성하는 하부전극과,상기한 하부전극과 동일한 기판상에 서로 단락되지 않도록 형성되는 상부전극 패드부와,상기한 상부전극 패드부의 일부 및 하부전극 위에 형성하는 압전박막과,상기한 압전박막 위에 형성되는 상부전극과,상기한 상부전극으로부터 상기한 상부전극 패드부쪽으로 일체로 돌출 연장되어 형성되고 상기한 상부전극 패드부와 상부전극을 서로 연결하는 이음부를 포함하는 압전박막 공진기.
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