초록 ▼

본 발명은 졸-겔 코팅 장치 및 방법에 관한 것으로, 종래 졸-겔 코팅 방법은 대면적의 코팅시 형성되는 박막의 균일성이 저하되어 원하는 특성의 박막을 획득할 수 없는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 실장된 ITO의 상부측에서 이동 가능하며, 졸-겔 용액으로 그 ITO의 상부에 졸-겔 딥(DIP) 코팅을 실시하는 딥코터와; 상기 코팅 분위기를 저진공 상태로 만드는 진공펌프와; 상기 딥코터의 이동속도를 제어하는 속도제어기를 포함하는 코팅 장치를 사용하여 ITO를 세정하고, 그 ITO의 표면을 친수성 처리하는 단계

본 발명은 졸-겔 코팅 장치 및 방법에 관한 것으로, 종래 졸-겔 코팅 방법은 대면적의 코팅시 형성되는 박막의 균일성이 저하되어 원하는 특성의 박막을 획득할 수 없는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 실장된 ITO의 상부측에서 이동 가능하며, 졸-겔 용액으로 그 ITO의 상부에 졸-겔 딥(DIP) 코팅을 실시하는 딥코터와; 상기 코팅 분위기를 저진공 상태로 만드는 진공펌프와; 상기 딥코터의 이동속도를 제어하는 속도제어기를 포함하는 코팅 장치를 사용하여 ITO를 세정하고, 그 ITO의 표면을 친수성 처리하는 단계와; 상기 친수성 처리된 ITO를 세정하고, 건조시키는 단계와; 진공상태에서 상기 친수성 처리된 ITO의 상부에 졸-겔 용액을 코팅하는 단계를 통해 졸-겔 코팅을 실시하여, ITO를 친수성처리한 후, 그 ITO의 상부에 졸-겔 용액을 코팅할때 그 코팅시 분위기를 진공상태로 만들어 줌으로써, 보다 균일한 코팅이 이루어 질 수 있게 되는 효과와 아울러 그 코팅 속도를 향상시키는 효과가 있다.

대표청구항

실장된 ITO의 상부측에서 이동 가능하며, 졸-겔 용액으로 그 ITO의 상부에 졸-겔 딥(DIP) 코팅을 실시하는 딥코터와; 상기 코팅 분위기를 저진공 상태로 만드는 진공펌프와; 상기 딥코터의 이동속도를 제어하는 속도제어기를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 졸-겔 코팅 장치.

실장된 ITO의 상부측에서 이동 가능하며, 졸-겔 용액으로 그 ITO의 상부에 졸-겔 딥(DIP) 코팅을 실시하는 딥코터와; 상기 코팅 분위기를 저진공 상태로 만드는 진공펌프와; 상기 딥코터의 이동속도를 제어하는 속도제어기를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 졸-겔 코팅 장치.