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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2002-0011692 (2002-03-05) |
공개번호 | 10-2003-0072122 (2003-09-13) |
등록번호 | 10-0811493-0000 (2008-03-03) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020011692 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-03-05) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 졸-겔 코팅 장치 및 방법에 관한 것으로, 종래 졸-겔 코팅 방법은 대면적의 코팅시 형성되는 박막의 균일성이 저하되어 원하는 특성의 박막을 획득할 수 없는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 실장된 ITO의 상부측에서 이동 가능하며, 졸-겔 용액으로 그 ITO의 상부에 졸-겔 딥(DIP) 코팅을 실시하는 딥코터와; 상기 코팅 분위기를 저진공 상태로 만드는 진공펌프와; 상기 딥코터의 이동속도를 제어하는 속도제어기를 포함하는 코팅 장치를 사용하여 ITO를 세정하고, 그 ITO의 표면을 친수성 처리하는 단계
실장된 ITO의 상부측에서 이동 가능하며, 졸-겔 용액으로 그 ITO의 상부에 졸-겔 딥(DIP) 코팅을 실시하는 딥코터와; 상기 코팅 분위기를 저진공 상태로 만드는 진공펌프와; 상기 딥코터의 이동속도를 제어하는 속도제어기를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 졸-겔 코팅 장치.
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