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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2002-0016465 (2002-03-26) |
공개번호 | 10-2003-0077369 (2003-10-01) |
등록번호 | 10-0486939-0000 (2005-04-25) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020016465 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2002-03-26) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 플라즈마 용사, 신소재 합성, 화학증착 등의 소재공정용으로 광범위하게 사용되는 열플라즈마를 발생시키기 위한 비이송식 플라즈마 토치에 관한 것으로, 토치 구성의 핵심인 음극, 양극노즐, 기체주입링, 냉각수 공급 라인의 설계 개선과 자기장의 이용을 통한 전극 및 토치 수명의 연장, 토치 열효율 개선으로 응용 공정의 다양화와 안정된 열플라즈마 유체를 발생시킬 수 있는 계단형 노즐을 채택한 자석 삽입형 플라즈마 토치에 관한 것이다. 전극으로는 이트륨 텅스텐(Y-W)을 사용한 원뿔형태의 막대 음극(10)과 무산소동(OFHC)을
양극 몸체, 원뿔 막대형 음극(10), 상기 음극을 지지하는 지지대(1), 상기 음극 전방 동축상에 위치한 양극 노즐(20), 플라즈마 기체를 주입하기 위한 기체 주입링(3) 및 상기 음극과 노즐을 냉각시키는 냉각수의 통로를 구비하고 있는 플라즈마 토치에 있어서, 상기 양극 노즐 외주면에 구비되어 있는 영구자석(8) 및 상기 기체 주입링을 통하여 주입된 기체의 회전 성분 감소를 줄이고 기체를 노즐 입구까지 유도하는 안쪽 단면이 테이퍼진 형상을 가지는 기체 압축링(30)을 포함하고 있으며, 상기 양극 노즐은 안쪽면에 노즐 계단이 형성
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