IPC분류정보
국가/구분 |
한국(KR)/등록특허
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 |
10-2002-0022262
(2002-04-23)
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공개번호 |
10-2002-0082159
(2002-10-30)
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등록번호 |
10-0901951-0000
(2009-06-02)
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DOI |
http://doi.org/10.8080/1020020022262
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발명자
/ 주소 |
- 뎅큉
/ 미국캘리포니아주*****산호세주디앤코트****
- 허니만존
/ 미국캘리포니아주*****산타로사뷰먼트웨이****
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출원인 / 주소 |
- 아바고 테크놀로지스 파이버 아이피 (싱가포르) 피티이 리미티드 / 싱가포르 ****** 이슌 애비뉴 * 넘버 *
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대리인 / 주소 |
-
김창세
(KIM, Chang Se)
-
서울 서초구 양재동 ***-* 트러스트타워**층(제일광장특허법률사무소)
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심사청구여부 |
있음 (2007-04-23) |
심사진행상태 |
등록결정(심사전치후) |
법적상태 |
소멸 |
초록
▼
수직 공동 표면 방출 레이저(VCSEL) 및 그 제조 방법이 설명된다. VCSEL은 VCSEL 구조(40,50,60) 내부 하나 이상의 중요 위치에서 결점 형성 및 이동을 줄이거나 방지하도록 하는 특정한 기능을 수행하는 신뢰도 강화층(48,54,66)을 포함하는데, 만약 그렇지 않았다면 그 결점 형성 및 이동은 예컨대, 미러 스택에서 광 흡수를 증가시키거나 활성 영역의 전자 광 특성을 열화시킴으로써 VCSEL 성능을 열화시킬 수 있다. 특히, 신뢰도 강화층(48,54,66)은 VCSEL 구조(40,50,60) 내에서, 게터링(즉
수직 공동 표면 방출 레이저(VCSEL) 및 그 제조 방법이 설명된다. VCSEL은 VCSEL 구조(40,50,60) 내부 하나 이상의 중요 위치에서 결점 형성 및 이동을 줄이거나 방지하도록 하는 특정한 기능을 수행하는 신뢰도 강화층(48,54,66)을 포함하는데, 만약 그렇지 않았다면 그 결점 형성 및 이동은 예컨대, 미러 스택에서 광 흡수를 증가시키거나 활성 영역의 전자 광 특성을 열화시킴으로써 VCSEL 성능을 열화시킬 수 있다. 특히, 신뢰도 강화층(48,54,66)은 VCSEL 구조(40,50,60) 내에서, 게터링(즉, 중요 영역에서 결점이나 불순물을 제거), 변형 밸런싱(즉, 변형을 최소화하도록 그 구조 내부의 격자 부정합을 보상), 그리고 결점 억제(즉, 성장 동안 또는 성장 이후 활동 동안 결점의 형성을 줄이는 합금 생성) 등의 기능 중 하나 이상을 수행하도록 구성된다. 확인된 결점 소스에 관련하여 적절하게 구성된 신뢰도 강화층(48,54,66)을 전략적으로 배치함으로써, 본 발명은 VCSEL 구조(40,50,60)가 VCSEL 장치의 신뢰도 및 성능을 강화하도록 변형될 수 있게 한다.
대표청구항
▼
수직 공동 표면 방출 레이저(vertical cavity surface emitting laser : VCSEL)로서,제 1 미러 스택(first mirror stack)과,제 2 미러 스택과,상기 제 1 미러 스택 및 상기 제 2 미러 스택 사이에 배치되고 활성 영역(active region)을 내포(including)하고 있는 공동 영역(cavity region)과,결점 소스(defect source)와,하나 이상의 VCSEL 영역에서 결점 유도형 열화(defect-induced degradation)를 줄이도록 상기 결점 소스
수직 공동 표면 방출 레이저(vertical cavity surface emitting laser : VCSEL)로서,제 1 미러 스택(first mirror stack)과,제 2 미러 스택과,상기 제 1 미러 스택 및 상기 제 2 미러 스택 사이에 배치되고 활성 영역(active region)을 내포(including)하고 있는 공동 영역(cavity region)과,결점 소스(defect source)와,하나 이상의 VCSEL 영역에서 결점 유도형 열화(defect-induced degradation)를 줄이도록 상기 결점 소스와 관련되어 배치된 신뢰도 강화층(reliability-enhancing layer)을 포함하는수직 공동 표면 방출 레이저.제 1 항에 있어서, 상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 상기 결점 소스와 상기 공동 영역(12)사이, 상기 결점 소스 내부, 상기 결점 소스 매우 가까이, 또는 상기 결점 소스와 상기 공동 영역(12)사이에 배치되는수직 공동 표면 방출 레이저.제 1 항에 있어서,제 2 신뢰도 강화층- 상기 제 1 신뢰도 강화층(48,54,66)으로부터 하나 이상의 다른 층에 의하여 격리됨 -을 더 포함하는수직 공동 표면 방출 레이저.제 1 항에 있어서,상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 인듐(indium), 붕소(boron), 인(phosphorus), 안티몬(antimony), 및 질소(nitrogen) 중 하나 이상의 원소를 포함하는 수직 공동 표면 방출 레이저.제 1 항에 있어서,상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 주변층(surrounding layer)에 격자 정합(lattice-matched)되는 수직 공동 표면 방출 레이저.제 1 항에 있어서,상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 하나 이상의 변형층(strained layer)이나 초격자(superlattice), 또는 양자 모두를 포함하는 수직 공동 표면 방출 레이저.제 1 항에 있어서,상기 결점 소스는, 상기 VCSEL의 산화부(oxidized portion)(26,52)와, 상기 VCSEL의 삽입 영역(implant region)(62)과, 상기 VCSEL의 노출 영역(exposed region)과, 하나 이상의 유전층(dielectric layer)과, 상기 VCSEL의 도핑 영역(doped region)과, 기판(18) 중 하나 이상을 포함하는 수직 공동 표면 방출 레이저.제 1 항에 있어서, 상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 상기 결점 소스에 의하여 생성되는 변형을 적어도 일부 밸런싱(balance)하도록 구성되는 수직 공동 표면 방출 레이저.제 1 항에 있어서,상기 결점 소스가 결점 이동(defect migration)을 유도하는 농도 그래디언트(concentration gradient)를 생성하고, 상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 상기 유도형 결점 이동을 줄이도록 구성되는 수직 공동 표면 방출 레이저.수직 공동 표면 방출 레이저(VCSEL)를 제조하는 방법으로서,제 1 미러 스택(14)과 제 2 미러 스택(16)을 형성하고, 그 사이에 배치된 공동 영역(12)- 상기 공동 영역(12)은 활성 영역(active region)을 포함함 -을 형성하는 단계와,결점 소스를 형성하는 단계와,하나 이상의 VCSEL 영역의 결점 유도형 열화를 줄이도록 상기 결점 소스에 관련되어 배치된 신뢰도 산화층을 형성하는 단계를 포함하는 수직 공동 표면 방출 레이저 제조 방법.제 10 항에 있어서, 상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 상기 결점 소스와 상기 공동 영역(12)사이, 상기 결점 소스 내부, 상기 결점 소스 매우 가까이, 또는 상기 결점 소스와 상기 공동 영역(12)사이에 배치되는수직 공동 표면 방출 레이저.제 10 항에 있어서,제 2 신뢰도 강화층- 상기 제 1 신뢰도 강화층(48,54,66)으로부터 하나 이상의 다른 층에 의하여 격리됨 -을 더 포함하는수직 공동 표면 방출 레이저.제 10 항에 있어서,상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 인듐, 붕소, 인, 안티몬, 및 질소 중 하나 이상의 원소를 포함하는 수직 공동 표면 방출 레이저.제 10 항에 있어서,상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 주변층에 격자 정합되는 수직 공동 표면 방출 레이저.제 10 항에 있어서,상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 하나 이상의 변형층이나 초격자, 또는 양자 모두를 포함하는 수직 공동 표면 방출 레이저.제 10 항에 있어서,상기 결점 소스는, 상기 VCSEL의 산화부(26,52)와, 상기 VCSEL의 삽입 영역(62)과, 상기 VCSEL의 노출 영역과, 하나 이상의 유전층과, 상기 VCSEL의 도핑 영역과, 기판(18) 중 하나 이상을 포함하는 수직 공동 표면 방출 레이저.제 10 항에 있어서, 상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 상기 결점 소스에 의하여 생성되는 변형을 적어도 일부 밸런싱하도록 구성되는 수직 공동 표면 방출 레이저.제 10 항에 있어서,상기 결점 소스가 결점 이동을 유도하는 농도 그래디언트를 생성하고, 상기 신뢰도 강화층(48,54,66)이 상기 유도형 결점 이동을 줄이도록 구성되는 수직 공동 표면 방출 레이저.<
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