초록

감광물질 코팅 방법 및 장치가 개시되어 있다. 감광물질을 공급하는 슬릿 코터와 피 도포 대상물 사이에 슬릿 코터에서 배출된 감광물질의 양을 안정화시키는 도포량 조절 롤러를 설치하여, 공급량이 안정화된 감광물질을 피 도포 대상물에 공급한다. 감광물질이 피 도포 대상물에 원활하게 도포되도록 감광물질의 고형분의 양, 비등점, 표면장력을 조절하는 첨가제가 포함된다. 이로써, 감광물질을 슬릿 코터에 의하여 균일한 두께로 도포할 수 있는 장점을 갖는다.

대표청구항 ▼

유동성 감광물질을 폭보다 길이가 길은 띠 형상으로 변경시키는 단계;상기 띠 형상을 갖는 감광물질을 제 1 표면에 제 1 시간 동안 공급하여 띠 형상을 갖는 상기 감광물질의 공급량을 안정화시키는 단계; 및상기 제 1 표면으로부터 이격된 피 도포대상물에 공급량이 안정된 상기 감광물질을 상기 폭 방향으로 공급하여 면 형태로 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 1 항에 있어서, 상기 감광물질은 도포 속도를 향상시키기 위하여 5wt% ∼ 25wt%의 고형분(solid powder)과, 95wt% ∼ 75wt%

유동성 감광물질을 폭보다 길이가 길은 띠 형상으로 변경시키는 단계;상기 띠 형상을 갖는 감광물질을 제 1 표면에 제 1 시간 동안 공급하여 띠 형상을 갖는 상기 감광물질의 공급량을 안정화시키는 단계; 및상기 제 1 표면으로부터 이격된 피 도포대상물에 공급량이 안정된 상기 감광물질을 상기 폭 방향으로 공급하여 면 형태로 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 1 항에 있어서, 상기 감광물질은 도포 속도를 향상시키기 위하여 5wt% ∼ 25wt%의 고형분(solid powder)과, 95wt% ∼ 75wt%의 휘발성 솔벤트를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 1 항에 있어서, 상기 감광물질은 상기 감광물질의 건조 시간을 지연시키기 위한 건조 지연제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 3 항에 있어서, 상기 건조 지연제는 상기 감광물질의 비등점보다 높은 비등점을 갖으며, 상기 감광물질에 80wt% ∼ 10wt%가 포함되는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 1 항에 있어서, 상기 감광물질은 표면 장력을 낮추기 위하여, 계면 활성제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 5 항에 있어서, 상기 계면 활성제는 불소계 계면 활성제인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 5 항에 있어서, 상기 계면 활성제는 상기 감광물질에 5000ppm ∼ 200ppm 이 포함되는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 1 항에 있어서, 상기 감광물질을 도포하는 단계는 상기 감광물질을 제 2 시간 동안 제 1 압력에 도달되도록 하는 단계, 상기 감광물질이 목표 공급량에 도달 될 때까지 제 3 시간 동안 대기하는 단계 및 상기 목표 공급량에 도달한 상기 감광물질을 제 2 압력으로 토출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 1 항에 있어서, 상기 제 1 표면에서의 상기 감광물질의 높이는 10∼200㎛인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 1 항에 있어서, 상기 감광물질을 도포하는 단계는 상기 피 도포대상물의 제 1 위치에서 도포되는 상기 감광물질의 높이를 측정하는 단계, 상기 제 1 위치와 이격된 제 2 위치에서 상기 감광물질의 높이를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 1 항에 있어서, 상기 감광물질을 도포하는 단계 이후에는 상기 감광물질을 건조하는 단계가 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 1 항에 있어서, 상기 감광물질을 도포하는 단계 이후에는 잉여 감광물질을 흡입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.유동성 감광물질을 폭보다 길이가 길은 띠 형상으로 변경시키는 감광물질 형상 가공 장치;상기 띠 형상을 갖는 감광물질을 제 1 표면에 제 1 시간 동안 공급하여 상기 감광물질의 공급량을 안정화시키는 공급량 안정화 수단;상기 제 1 표면으로부터 이격된 피 도포대상물을 고정하는 피 도포 대상물 고정 장치; 및상기 피 도포 대상물에 상기 감광물질을 상기 폭 방향으로 공급하여 상기 감광물질이 면 형태로 도포되도록 하기 위한 이송 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 13 항에 있어서, 상기 감광물질 형상 가공 장치는 부정형 감광물질을 공급하는 감광물질 공급장치와, 상기 유동성 감광물질을 공급받아 띠 형상으로 변경시키는 슬릿 코터를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 14 항에 있어서, 상기 감광물질 공급장치는 감광물질 저장 탱크 및 상기 감광물질 저장 탱크에 저장된 상기 감광물질에 압력을 가하는 감광물질 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 14 항에 있어서, 상기 감광물질 공급 장치는 고형분이 저장된 제 1 탱크, 휘발성 용제가 저장된 제 2 탱크, 비등점 조절 용제가 저장된 제 3 탱크, 상기 제 1 탱크, 제 2 탱크, 제 3 탱크에 연결된 혼합 탱크 및 상기 혼합 탱크에 연결된 감광물질 가압 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 14 항에 있어서, 상기 감광물질 공급 장치는 고형분이 저장된 제 1 탱크, 휘발성 용제가 저장된 제 2 탱크, 계면 활성제가 저장된 제 4 탱크, 상기 제 1 탱크, 제 2 탱크, 제 4 탱크에 연결된 혼합 탱크 및 상기 혼합 탱크에 연결된 감광물질 가압 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 14 항에 있어서, 상기 슬릿 코터는 슬릿 코터 몸체, 상기 슬릿 코터 몸체의 내부에 형성되며 상기 감광물질이 공급되는 감광물질 공급 포트, 상기 감광물질 공급 포트를 통하여 공급된 감광물질을 저장하는 긴 공동 형상의 감광물질 버퍼 및 상기 감광물질 버퍼와 연결되며 상기 감광물질이 띠 형상으로 토출하기 위한 슬릿 형상의 슬릿 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 18 항에 있어서, 상기 감광물질 버퍼의 직경은 3㎜ ∼ 5㎜인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 18 항에 있어서, 상기 슬릿 노즐의 길이는 10mm ∼ 35mm 이고, 상기 슬릿 노즐의 폭은 100mm ∼ 50mm인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 14 항에 있어서, 상기 슬릿 코터는 상기 기판과 이루는 간격을 측정하는 측정 센서 및 상기 기판과 이루는 간격을 조정하는 간격 조절 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 13 항에 있어서, 상기 감광물질은 고형분, 휘발성 용제, 상기 휘발성 용제의 비등점을 조절하기 위한 비등점 조절 용제 및 계면 활성제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 13 항에 있어서, 상기 공급량 안정화 수단은 회전하는 감광물질 도포 롤러인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.제 23 항에 있어서, 상기 감광물질 형상 가공 장치와 상기 감광물질 도포 롤러의 갭은 10㎛ ∼ 200㎛인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.<