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[한국특허] 감광물질 코팅 방법 및 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/027
출원번호 10-2002-0033320 (2002-06-14)
공개번호 10-2003-0095759 (2003-12-24)
등록번호 10-0923022-0000 (2009-10-15)
DOI http://doi.org/10.8080/1020020033320
발명자 / 주소
  • 정성기 / 경기도수원시팔달구매탄동**번지극동아파트***-***호
출원인 / 주소
  • 삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매탄동 ***
대리인 / 주소
  • 박영우 (PARK, Young Woo)
  • 서울 강남구 역삼동 ***-** 세일빌딩 *층(**세기특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2007-06-11)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

감광물질 코팅 방법 및 장치가 개시되어 있다. 감광물질을 공급하는 슬릿 코터와 피 도포 대상물 사이에 슬릿 코터에서 배출된 감광물질의 양을 안정화시키는 도포량 조절 롤러를 설치하여, 공급량이 안정화된 감광물질을 피 도포 대상물에 공급한다. 감광물질이 피 도포 대상물에 원활하게 도포되도록 감광물질의 고형분의 양, 비등점, 표면장력을 조절하는 첨가제가 포함된다. 이로써, 감광물질을 슬릿 코터에 의하여 균일한 두께로 도포할 수 있는 장점을 갖는다.

대표청구항 ▼

유동성 감광물질을 폭보다 길이가 길은 띠 형상으로 변경시키는 단계;상기 띠 형상을 갖는 감광물질을 제 1 표면에 제 1 시간 동안 공급하여 띠 형상을 갖는 상기 감광물질의 공급량을 안정화시키는 단계; 및상기 제 1 표면으로부터 이격된 피 도포대상물에 공급량이 안정된 상기 감광물질을 상기 폭 방향으로 공급하여 면 형태로 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.제 1 항에 있어서, 상기 감광물질은 도포 속도를 향상시키기 위하여 5wt% ∼ 25wt%의 고형분(solid powder)과, 95wt% ∼ 75wt%

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