초록 ▼

감광성 유기수지용 알칼리 현상액의 레지스트 농도 및 알칼리 농도를 소정의 농도로 자동 제어함으로써, 현상성능을 일정하게 유지할 수 있음과 동시에, 조업(操業)정지시간의 대폭적인 단축과 종합적인 제조 비용의 저감을 도모할 수 있는 현상액 재생장치를 제공한다.현상폐액의 레지스트 농도를 측정하는 제1 레지스트 농도측정수단(5)과, 제1 레지스트 농도측정수단(5)의 측정결과에 기초한 비율 만큼의 현상폐액을 폐기하는 제1 폐기수단(7, 61)과, 제1 폐기수단(7, 61)에 의해 폐기되는 현상폐액의 양에 기초하는 만큼의 현상신액을 보급하는

감광성 유기수지용 알칼리 현상액의 레지스트 농도 및 알칼리 농도를 소정의 농도로 자동 제어함으로써, 현상성능을 일정하게 유지할 수 있음과 동시에, 조업(操業)정지시간의 대폭적인 단축과 종합적인 제조 비용의 저감을 도모할 수 있는 현상액 재생장치를 제공한다.현상폐액의 레지스트 농도를 측정하는 제1 레지스트 농도측정수단(5)과, 제1 레지스트 농도측정수단(5)의 측정결과에 기초한 비율 만큼의 현상폐액을 폐기하는 제1 폐기수단(7, 61)과, 제1 폐기수단(7, 61)에 의해 폐기되는 현상폐액의 양에 기초하는 만큼의 현상신액을 보급하는 제1 보급수단(9, 71)과, 제1 보급수단(9, 71)에 의한 보급의 결과 얻어지는 현상액의 알칼리 농도를 측정하는 제1 알칼리 농도측정수단(22)과, 제1 알칼리 농도측정수단(22)에 의한 측정결과에 기초하는 양의 현상원액을 보급하는 제2 보급수단(16, 72)을 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.

대표청구항 ▼

감광성 유기수지용 알칼리계 현상폐액의 레지스트 농도를 측정하는 제1 레지스트 농도측정수단과,그 제1 레지스트 농도측정수단의 측정결과에 기초하는 비율 만큼의 상기 현상폐액을 폐기하는 제1 폐기수단과,그 제1 폐기수단에 의해 폐기되는 현상폐액의 양에 기초하는 만큼의 알칼리계 현상신액 또는 순수(純水)를 보급하는 제1 보급수단과,그 제1 보급수단에 의한 보급의 결과 얻어지는 현상액의 알칼리 농도를 측정하는 제1 알칼리 농도측정수단과,그 제1 알칼리 농도측정수단에 의한 측정결과에 기초하는 양의 알칼리계 현상원액을 보급하는 제2 보급수단을

감광성 유기수지용 알칼리계 현상폐액의 레지스트 농도를 측정하는 제1 레지스트 농도측정수단과,그 제1 레지스트 농도측정수단의 측정결과에 기초하는 비율 만큼의 상기 현상폐액을 폐기하는 제1 폐기수단과,그 제1 폐기수단에 의해 폐기되는 현상폐액의 양에 기초하는 만큼의 알칼리계 현상신액 또는 순수(純水)를 보급하는 제1 보급수단과,그 제1 보급수단에 의한 보급의 결과 얻어지는 현상액의 알칼리 농도를 측정하는 제1 알칼리 농도측정수단과,그 제1 알칼리 농도측정수단에 의한 측정결과에 기초하는 양의 알칼리계 현상원액을 보급하는 제2 보급수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 현상액 재생장치.