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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2002-0046076 (2002-08-05) |
공개번호 | 10-2004-0013236 (2004-02-14) |
등록번호 | 10-0497953-0000 (2005-06-20) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020046076 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2002-08-05) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
세라믹 절연층에 적용되는 전도성 세라믹 전극 및 이를 포함하는 정전척이 개시되어 있다. 상기 전도성 세라믹 전극은 티타늄(Ti)을 포함하는 전도성 세라믹 물질로 이루어져 있다. 그리고, 세라믹 정전척은 반도체 기판이 놓여지는 제1세라믹 절연층과 상기 제1절연층 하부에 위치하는 제2세라믹 절연층이 구비되어 있다. 상기 제1 및 제2세라믹 절연층 사이에 위치하고, 상기 제1 및 제2세라믹 절연층과 적합성(compatability)을 높이기 위해 티타늄을 포함하는 전도성 세라믹 물질로 이루어진 전도성 세라믹 전극을 포함하고 있다. 상기와
티타늄(Ti)을 포함하는 전도성 세라믹 물질로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 전극.
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