초록 ▼

본 발명은, 반도체 제조에 관련되는 프로세스 조건의 변동, 전원 변동이나 기종 차이에 영향받지 않는 반도체 제조 장치의 수명 진단 방법을 제공하는 것으로, 반도체 제조 장치의 열화가 없을 때의 특징량(特徵量)의 기준 시계열 데이터를 측정하고(단계 S11), 기준 시계열 데이터로부터 기준 자기 공분산 함수를 구하며(단계 S12), 이 기준 자기 공분산 함수로부터 프로세스 조건의 변동 및 전원에 기인하는 기준 변동을 추출하서, 그 기준 변동의 주기를 구하고(단계 S13), 반도체 제조 장치의 평가 대상이 되는 시퀀스에 있어서, 특징량의

본 발명은, 반도체 제조에 관련되는 프로세스 조건의 변동, 전원 변동이나 기종 차이에 영향받지 않는 반도체 제조 장치의 수명 진단 방법을 제공하는 것으로, 반도체 제조 장치의 열화가 없을 때의 특징량(特徵量)의 기준 시계열 데이터를 측정하고(단계 S11), 기준 시계열 데이터로부터 기준 자기 공분산 함수를 구하며(단계 S12), 이 기준 자기 공분산 함수로부터 프로세스 조건의 변동 및 전원에 기인하는 기준 변동을 추출하서, 그 기준 변동의 주기를 구하고(단계 S13), 반도체 제조 장치의 평가 대상이 되는 시퀀스에 있어서, 특징량의 진단용 시계열 데이터를 측정하고(단계 S14), 이 진단용 시계열 데이터로부터 진단용 자기 공분산 함수를 구하고(단계 S15), 기준 변동의 주기보다 짧은 주기의 성분을 이용하여, 이 진단용 자기 공분산 함수로부터 반도체 제조 장치의 수명을 결정하는(단계 S16)의 단계로 이루어진다.

대표청구항 ▼

반도체 제조 장치의 열화가 없을 때의 특징량(特徵量)의 기준 시계열 데이터를 측정하는 단계와, 상기 기준 시계열 데이터로부터 기준 자기 공분산 함수를 구하는 단계와, 상기 기준 자기 공분산 함수로부터 프로세스 조건의 변동 및 전원에 기인하는 기준 변동을 추출하고, 그 기준 변동의 주기를 구하는 단계와, 반도체 제조 장치의 평가 대상이 되는 시퀀스에서, 상기 특징량의 진단용 시계열 데이터를 측정하는 단계와, 상기 진단용 시계열 데이터로부터 진단용 자기 공분산 함수를 구하는 단계와, 상기 기준 변동의 주기보다 짧은 주기의 성분을 이용하

반도체 제조 장치의 열화가 없을 때의 특징량(特徵量)의 기준 시계열 데이터를 측정하는 단계와, 상기 기준 시계열 데이터로부터 기준 자기 공분산 함수를 구하는 단계와, 상기 기준 자기 공분산 함수로부터 프로세스 조건의 변동 및 전원에 기인하는 기준 변동을 추출하고, 그 기준 변동의 주기를 구하는 단계와, 반도체 제조 장치의 평가 대상이 되는 시퀀스에서, 상기 특징량의 진단용 시계열 데이터를 측정하는 단계와, 상기 진단용 시계열 데이터로부터 진단용 자기 공분산 함수를 구하는 단계와, 상기 기준 변동의 주기보다 짧은 주기의 성분을 이용하여, 상기 진단용 자기 공분산 함수로부터 상기 반도체 제조 장치의 수명을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 수명 진단 방법.반도체 제조 장치의 특징량의 진단용 시계열 데이터의 측정을 개시하는 시각의 소정 시간 전에, 상기 진단과 동일 프로세스 조건에서 상기 특징량의 기준 시계열 데이터를 측정하는 단계와, 상기 기준 시계열 데이터로부터 마하라노비스(Mahalanobis) 공간을 설정하는 단계와, 상기 진단용 시계열 데이터를 측정하는 단계와, 상기 진단용 시계열 데이터와 상기 마하라노비스 공간을 이용하여, 상기 진단용 시계열 데이터의 마하라노비스 거리의 시간 변화를 구하는 단계와, 상기 마하라노비스 거리가, 사전에 정한 임계치에 도달했을 때의 상기 진단용 시계열 데이터로 이루어지는 공간을 새로운 마하라노비스 공간으로서 고정하는 단계와, 상기 새로운 마하라노비스 공간에 대한 새로운 마하라노비스 거리와 상기 임계치와의 비교에 의해, 상기 반도체 제조 장치의 수명을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 수명 진단 방법.제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 특징량은, 상기 반도체 제조 장치에 관련되는 모터 전류, 모터 전력, 압력, 진동, 가스 온도를 포함하는 그룹 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 수명 진단 방법.