[특허]밀리미터파 감지 센서

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밀리미터파 감지 센서 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	G01J-005/20
출원번호	10-2002-0075821 (2002-12-02)
공개번호	10-2004-0048058 (2004-06-07)
등록번호	10-0463882-0000 (2004-12-20)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020020075821
발명자 / 주소	이대성 / 경기도평택시합정동* 이경일 / 서울특별시서초구양재동우성아파트동*호 황학인 / 경기도수원시팔달구영통동신원아파트동**호
출원인 / 주소	전자부품연구원 / 경기도 성남시 분당구 야탑동 **번지
대리인 / 주소	정종옥; 조담 (Chung Jong Ok) 서울 강남구 역삼동 *- 번지 육성빌딩 층(노벨국제특허법률사무소); 서울 서초구 서초동 **- 보성빌딩 ***호(알프스국제특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (2002-12-02)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록 ▼

본 발명은 밀리미터파 감지 센서에 관한 것으로, 실리콘 기판의 상부에 형성된 제 1과 2 안테나와; 상기 제 1과 2 안테나의 사이에 상기 제 1과 2 안테나와 접촉되어 형성된 히터와; 상기 히터의 상부에 형성된 절연막과; 상기 절연막 상부에 형성된 온도센서와; 상기 온도센서에 연결되며, 온도에 따른 저항 변화를 전류로 측정할 수 있는 제 1과 2 전극단자와; 상기 제 1과 2 안테나 각각에 연결되며, 전압을 인가하여 상기 히터를 가열시킬 수 있는 제 3과 4 전극단자와; 상기 히터의 측면에 있는 상기 실리콘 기판의 상부에 형성되며, 상기 히터의 온도를 감지하는 써머커플 온도센서로 구성된다.따라서, 본 발명은 히터의 온도를 써머커플(THERMOCOUPLE)로 측정하고, 이 측정된 온도에 대한 전압값을 온도센서의 전이온도에 대한 기준전압과 비교하여, 히터의 온도를 온도센서의 전이온도에 맞춤으로서, 센서의 감도를 증가시킬 수 있으며, 반도체 제조공정으로 밀리미터파 감지 센서를 제조함으로서, 제조공정이 용이하고 대량생산할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

실리콘 기판의 상부에 형성된 제 1과 2 안테나와; 상기 제 1과 2 안테나의 사이에 상기 제 1과 2 안테나와 접촉되어 형성된 히터와; 상기 히터의 상부에 형성된 절연막과; 상기 절연막 상부에 형성된 온도센서와; 상기 온도센서에 연결되며, 온도에 따른 저항 변화를 전류로 측정할 수 있는 제 1과 2 전극단자와; 상기 제 1과 2 안테나 각각에 연결되며, 전압을 인가하여 상기 히터를 가열시킬 수 있는 제 3과 4 전극단자와; 상기 히터의 측면에 있는 상기 실리콘 기판의 상부에 형성되며, 상기 히터의 온도를 감지하는 써머커플 온도센서

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

[미국] Mm-wave/IR monolithically integrated focal plane array | Jack Michael D., Grinberg Jan, Dolezal Franklin A., Balcerak Ray
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[미국] Architecture and method of coupling electromagnetic energy to thermal detectors | Jack Michael D., Ray Michael, Varesi John, Grinberg Jan, Fetterman Harold, Dolezal Franklin A.
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특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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