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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2002-0080062 (2002-12-14) |
| 공개번호 | 10-2004-0053502 (2004-06-24) |
| 등록번호 | 10-0493164-0000 (2005-05-25) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020020080062 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2002-12-14) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
전자기 유도 가속기가 개시된다. 개시된 전자기 유도 가속기는, 소정 간격 이격되어 내부 및 외부에 동축으로 나란히 위치하고 축방향으로 유도 자기장이 감소하도록 형성된 내부 및 외부 원형 루프 인덕터와, 내부 및 외부 원형 루프 인덕터 사이에 내부 및 외부 인덕터와 접촉하는 유전층을 구비하며 상기 유전층 사이의 유도 자기장에 의해 이차전류가 유도되는 채널 및, 채널에 펄스 에너지를 공급하여 플라즈마를 생성하는 방전코일을 구비한다. 플라즈마 이온의 속도를 용이하게 조절할 수 있으며, 이방성, 선택성, 막균질도 및, 공정재현성이 뛰어난
소정 간격 이격되어 내부 및 외부에 동축으로 나란히 위치하고 축방향으로 유도 자기장이 감소하도록 형성된 내부 및 외부 원형 루프 인덕터; 상기 내부 및 외부 원형 루프 인덕터 사이에 상기 내부 및 외부 인덕터 와 접촉하는 유전층을 구비하며 상기 유전층 사이의 유도 자기장에 의해 이차전류가 유도되는 채널; 및상기 채널에 펄스 에너지를 공급하여 플라즈마를 생성하는 방전코일;을 구비하는 전자기 유도 가속기.
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