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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2003-0012272 (2003-02-27) |
| 공개번호 | 10-2004-0076950 (2004-09-04) |
| 등록번호 | 10-0507239-0000 (2005-08-01) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020030012272 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2003-02-27) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
반도체 제조 공정의 폐가스를 정화하여 배출하는 배기 시스템의 일부를 구성하는 플라즈마방전집진기에 관한 발명으로서, 튜브형상의 집진극, 집진극의 내부에 삽입되는 튜브형상의 방전극, 집진극과 상기 방전극 사이에 설치되는 절연체로 구성되는 플라즈마방전부를 포함하여 구성되며, 집진극의 일측 단부는 폐가스유입관과 연결되며 타측단부는 폐가스유출관과 연결되어 폐가스의 배기 통로가 되고, 방전극의 일측 단부는 절연체와 결합하여 집진극과 전기적 절연을 이루고 타측 단부는 밀폐되어 있으며 방전극의 외주면을 따라 다수개의 침상의 돌기부가 소정의 간격으
반도체 제조 공정의 폐가스를 정화하여 배출하는 배기 시스템의 일부를 구성하며,튜브형상의 전기 전도성 재질의 집진극;상기 집진극의 내부에 삽입되는 튜브형상의 전기 전도성 재질의 방전극;상기 집진극과 상기 방전극 사이에 설치되는 절연체;로 구성되는 플라즈마방전부;를 포함하여 구성되는 플라즈마방전집진기에서,상기 집진극의 일측 단부는 폐가스유입관과 연결되며 타측단부는 폐가스유출관과 연결되어 폐가스의 배기 통로가 되고, 상기 방전극의 일측 단부는 상기 절연체와 결합하여 상기 집진극과 전기적 절연을 이루고 타측 단부는 밀폐되어 있으며 상기 방
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