[특허]분무코팅 장치 및 방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/027
출원번호	10-2003-0028448 (2003-04-30)
공개번호	10-2004-0094267 (2004-11-09)
등록번호	10-0543808-0000 (2006-01-10)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020030028448
발명자 / 주소	김준태 / 대구광역시북구관음동**- 박태규 / 광주광역시동구학동*-은하맨션*호 석창길 / 대구광역시북구매천동청구장미마을-* 강순석 / 대구광역시북구국우동***-칠곡현대아파트*동호 이동철 / 대구광역시북구구암동번지그린빌단지*동*호
출원인 / 주소	(주)울텍 / 대구광역시 달서구 호림동 -
대리인 / 주소	이철희 (Lee, Cheol Hee) 서울 강남구 삼성동 *- 우경빌딩 ***호(가디언국제특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (2003-04-30)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록

본 발명은 액상의 코팅제를 분무코팅 하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 일정속력으로 회전하는 기판상에 코팅제를 분무하는 동시에 분무노즐의 이동 속도를 변화시킴으로써 코팅제의 두께를 균일하게 하는 장치 및 방법을 개시한다.균일한 코팅을 위한 분무 노즐의 이동속도는 기판의 반경 및 회전속도의 함수로 표현되고, 이 함수를 기판 반경의 영역에 따라 구역화하여 근사적으로 함수값에 접근하도록 이동속도를 조절함으로써, 기판상에 균일한 두께의 코팅제를 코팅하는 장치 및 방법을 개시한다.

대표청구항

웨이퍼를 일정한 각속도로 회전시키는 회전 척,액상의 코팅제를 분체 상태로 분무하는 분무 노즐,회전하는 웨이퍼상의 반경을 따라 직선경로로 속도가 가변되는 노즐 이동 기구,코팅제의 건조 시 발생하는 흄을 배기하는 흄 배기부와분무노즐에 코팅제를 공급하는 코팅제 공급부로 구성된 것을 특징으로 하는 분무 코팅 장치

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

[일본] COATING FILM FORMING METHOD AND COATING FILM FORMING DEVICE | MINAMI TOMOHIDE, SUGIMOTO SHINICHI, KITANO TAKAHIRO, OKURA ATSUSHI, KURISHIMA KEISO
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이 특허를 인용한 특허 (1)

[한국] 자기부상을 이용한 원통형 기판용 코팅 장치 | 김판겸, 오현석, 정성일, 김현택, 전정우, 김종문
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특허 원문 보기

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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