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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-0028448 (2003-04-30) |
공개번호 | 10-2004-0094267 (2004-11-09) |
등록번호 | 10-0543808-0000 (2006-01-10) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030028448 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2003-04-30) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 액상의 코팅제를 분무코팅 하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 일정속력으로 회전하는 기판상에 코팅제를 분무하는 동시에 분무노즐의 이동 속도를 변화시킴으로써 코팅제의 두께를 균일하게 하는 장치 및 방법을 개시한다.균일한 코팅을 위한 분무 노즐의 이동속도는 기판의 반경 및 회전속도의 함수로 표현되고, 이 함수를 기판 반경의 영역에 따라 구역화하여 근사적으로 함수값에 접근하도록 이동속도를 조절함으로써, 기판상에 균일한 두께의 코팅제를 코팅하는 장치 및 방법을 개시한다.
웨이퍼를 일정한 각속도로 회전시키는 회전 척,액상의 코팅제를 분체 상태로 분무하는 분무 노즐,회전하는 웨이퍼상의 반경을 따라 직선경로로 속도가 가변되는 노즐 이동 기구,코팅제의 건조 시 발생하는 흄을 배기하는 흄 배기부와분무노즐에 코팅제를 공급하는 코팅제 공급부로 구성된 것을 특징으로 하는 분무 코팅 장치
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