초록 ▼

본 발명에 따른 플라즈마 챔버는, 챔버벽(110)의 내측에 내부 자켓(120)이 부착되며, 내부 자켓(120)이, 양 끝단에 홈을 가지되 챔버벽(110)의 내측에 닿는 홈벽이 더 길게 돌출되고 이 홈벽을 통하여 챔버벽(110)에 나사결합되어 부착되는 판형의 제1부재(120A)와; 양 끝단에 상기 홈에 내삽되는 돌출부를 가져서 제1부재(110A)에 연장되어 챔버벽(110)의 내측에 부착되는 판형의 제2부재(120B); 를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 제1부재(120A)의 나사결합 부위가 제2부재(120B)에 의해

본 발명에 따른 플라즈마 챔버는, 챔버벽(110)의 내측에 내부 자켓(120)이 부착되며, 내부 자켓(120)이, 양 끝단에 홈을 가지되 챔버벽(110)의 내측에 닿는 홈벽이 더 길게 돌출되고 이 홈벽을 통하여 챔버벽(110)에 나사결합되어 부착되는 판형의 제1부재(120A)와; 양 끝단에 상기 홈에 내삽되는 돌출부를 가져서 제1부재(110A)에 연장되어 챔버벽(110)의 내측에 부착되는 판형의 제2부재(120B); 를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 제1부재(120A)의 나사결합 부위가 제2부재(120B)에 의해 가려지기 때문에 볼트 헤드가 플라즈마에 노출되지 않아 플라즈마에 의한 아킹 가능성을 차단할 수 있다.

대표청구항 ▼

챔버벽의 내측에 내부 자켓이 부착되는 챔버에 있어서, 상기 내부 자켓이:양 끝단에 홈을 가지되 상기 챔버벽의 내측에 닿는 홈벽이 더 길게 돌출되고 이 홈벽을 통해서 상기 챔버벽에 나사결합되어 부착되는 판형의 제1부재와;양 끝단에 상기 홈에 내삽되는 돌출부를 가져서 상기 제1부재에 연장되어 상기 챔버벽의 내측에 부착되는 판형의 제2부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버. 제1항에 있어서, 상기 챔버벽은 금속재질로 이루어지고, 상기 내부자켓은 세라믹 또는 석영 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버. 제1항에

챔버벽의 내측에 내부 자켓이 부착되는 챔버에 있어서, 상기 내부 자켓이:양 끝단에 홈을 가지되 상기 챔버벽의 내측에 닿는 홈벽이 더 길게 돌출되고 이 홈벽을 통해서 상기 챔버벽에 나사결합되어 부착되는 판형의 제1부재와;양 끝단에 상기 홈에 내삽되는 돌출부를 가져서 상기 제1부재에 연장되어 상기 챔버벽의 내측에 부착되는 판형의 제2부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버. 제1항에 있어서, 상기 챔버벽은 금속재질로 이루어지고, 상기 내부자켓은 세라믹 또는 석영 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버. 제1항에 있어서, 상기 제1부재와 제2부재는 동일한 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버.