최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2003-0039835 (2003-06-19) |
공개번호 | 10-2004-0110495 (2004-12-31) |
등록번호 | 10-0929506-0000 (2009-11-25) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030039835 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2008-06-18) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명에 따른 플라즈마 챔버는, 챔버벽(110)의 내측에 내부 자켓(120)이 부착되며, 내부 자켓(120)이, 양 끝단에 홈을 가지되 챔버벽(110)의 내측에 닿는 홈벽이 더 길게 돌출되고 이 홈벽을 통하여 챔버벽(110)에 나사결합되어 부착되는 판형의 제1부재(120A)와; 양 끝단에 상기 홈에 내삽되는 돌출부를 가져서 제1부재(110A)에 연장되어 챔버벽(110)의 내측에 부착되는 판형의 제2부재(120B); 를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 제1부재(120A)의 나사결합 부위가 제2부재(120B)에 의해
챔버벽의 내측에 내부 자켓이 부착되는 챔버에 있어서, 상기 내부 자켓이:양 끝단에 홈을 가지되 상기 챔버벽의 내측에 닿는 홈벽이 더 길게 돌출되고 이 홈벽을 통해서 상기 챔버벽에 나사결합되어 부착되는 판형의 제1부재와;양 끝단에 상기 홈에 내삽되는 돌출부를 가져서 상기 제1부재에 연장되어 상기 챔버벽의 내측에 부착되는 판형의 제2부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버. 제1항에 있어서, 상기 챔버벽은 금속재질로 이루어지고, 상기 내부자켓은 세라믹 또는 석영 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버. 제1항에
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.