초록 ▼

본 발명은 박막 제조 공정 기술에 필수적인 박막측정방법에 관한 것으로, 복잡한 시편 준비 과정을 거치지 않더라도 압입시험만으로 박막의 두께를 측정하는 방법을 제공하기 위한 것이다. 본 발명은, 절단공정과 같은 복잡한 시편 준비 과정을 거치지 않고, 압입시험을 포함하는 일련의 측정 및 결과 분석 단계를 수행함으로서 달성되어지는데, 첫째, 모재위에 박막이 올려진 형상으로 이루어진 샘플(SAMPLE)에 압입 시험을 수행하는 단계와; 압입 시험중에 박막의 두께 방향으로 발생하는 변위와 하중을 정밀하게 측정하는 단계와; 측정된 변위값과 하중

본 발명은 박막 제조 공정 기술에 필수적인 박막측정방법에 관한 것으로, 복잡한 시편 준비 과정을 거치지 않더라도 압입시험만으로 박막의 두께를 측정하는 방법을 제공하기 위한 것이다. 본 발명은, 절단공정과 같은 복잡한 시편 준비 과정을 거치지 않고, 압입시험을 포함하는 일련의 측정 및 결과 분석 단계를 수행함으로서 달성되어지는데, 첫째, 모재위에 박막이 올려진 형상으로 이루어진 샘플(SAMPLE)에 압입 시험을 수행하는 단계와; 압입 시험중에 박막의 두께 방향으로 발생하는 변위와 하중을 정밀하게 측정하는 단계와; 측정된 변위값과 하중값을 통해 단순화된 모델식과 측정식들을 적용하여 박막의 두께를 판단하는 단계로 수행하게 된다.

대표청구항 ▼

모재위에 올려진 박막의 두께 측정을 위한 압입시험에 있어서, 박막과 모재로 이루어진 시편에 박막의 두께라고 예상되는 곳보다 충분히 깊게 인덴터를 압입하여 압입시험을 수행단계와;압입시험 결과에 따른 그래프(P/A-H)를 그리는 단계와; (HS와 HF는 각각 모재와 박막의 경도, T는 박막의 두께)박막/모재로 이루어진 시편에 압입 실험을 통하여 P/A와 압입깊이 사이의 그래프가 얻어지면, 위 식을 이용하여 커브피팅하고 커브 피팅을 통하여 박막과 모재의 경도, 박막의 두께의 세 개의 미지수를 결정하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는

모재위에 올려진 박막의 두께 측정을 위한 압입시험에 있어서, 박막과 모재로 이루어진 시편에 박막의 두께라고 예상되는 곳보다 충분히 깊게 인덴터를 압입하여 압입시험을 수행단계와;압입시험 결과에 따른 그래프(P/A-H)를 그리는 단계와; (HS와 HF는 각각 모재와 박막의 경도, T는 박막의 두께)박막/모재로 이루어진 시편에 압입 실험을 통하여 P/A와 압입깊이 사이의 그래프가 얻어지면, 위 식을 이용하여 커브피팅하고 커브 피팅을 통하여 박막과 모재의 경도, 박막의 두께의 세 개의 미지수를 결정하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압입시험을 통한 나노박막의 두께측정방법.