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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2003-0074055 (2003-10-23) |
공개번호 | 10-2005-0038788 (2005-04-29) |
등록번호 | 10-0497731-0000 (2005-06-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020030074055 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2003-10-23) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 연 X-선 현미경의 존 플레이트 및 시편 정렬 광학시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 시편과 존 플레이트 사이의 초점거리를 조정하기 위해 진공챔버의 외부에 구동기가 장착된 시준렌즈를 설치하여 시편 또는 존 플레이트의 위치를 검출하도록 한 연 X-선 현미경의 존 플레이트 및 시편 정렬 광학시스템에 관한 것이다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연 X-선 현미경의 존 플레이트 및 시편 정렬 광학시스템은 투과창을 구비한 진공챔버의 내부에, 연 X-선 광원으로부터 입사한 연 X-선을 시편으로 집광하는 집광기구; 상기 시편에
투과창(9)을 구비한 진공챔버(1)의 내부에, 연 X-선 광원(2)으로부터 입사한 연 X-선을 시편(7)으로 집광하는 집광기구(3); 상기 시편(7)에서 방출된 상기 연 X-선을 연 X-선 검출기(8)로 집광하는 존 플레이트(4); 상기 시편(7) 및 존 플레이트(4)로부터 같은 방향에서 고정설치되고 가시광선을 상기 시편(7) 또는 상기 존 플레이트(4)로 집광하는 중앙이 관통된 대물렌즈(19); 및 상기 대물렌즈(19)로부
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