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연합인증

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화학기계적 연마장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/304
출원번호 10-2003-0089473 (2003-12-10)
공개번호 10-2005-0056456 (2005-06-16)
DOI http://doi.org/10.8080/1020030089473
발명자 / 주소
  • 민병호 / 충청북도청주시상당구내덕*동***-*
출원인 / 주소
  • 동부일렉트로닉스 주식회사 / 서울 강남구 대치동 ***-**
대리인 / 주소
  • 허용록 (HAW, Yong Noke)
  • 서울 강남구 역삼동***-** 현죽빌딩 *층(선영특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2007-02-09)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록 ▼

본 발명은 폴리텍스 패드가 장착된 화학기계적 연마장치에 관한 것으로서, 폴리텍스 패드(1)의 방향으로 상하 이동하는 로봇암(20)과, 로봇암(20)의 자유단부에 장착되어 회전 가능한 홀더(30)와, 홀더(30)에 탈착 및 장착이 가능하며 상기 폴리텍스 패드(1)와 마주하는 면에 브러시(49)가 박혀 고정된 브러시부(40)를 포함하여 구성되며, 폴리텍스 패드에 부착된 이물질 즉 슬러리 등을 브러시로 닦아 제거하고 폴리텍스 패드의 순모를 정돈한다. 따라서, 다음 기판 연마작업시에 이물질 등에 의해 기판에 발생할 수 있는 스크래치 및 연

대표청구항

연마패드가 장착된 회전정반을 구비한 화학기계적 연마장치에 있어서, 상기 연마패드의 방향으로 상하 이동하는 로봇암과, 상기 로봇암의 자유단부에 장착되어 회전 가능한 홀더와, 상기 홀더에 탈착 및 장착이 가능하며 상기 연마패드와 마주하는 면에 브러시가 박혀 고정된 브러시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치.

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