초록 ▼

스페이서의 사용없이 균일한 셀갭(CELL GAP)을 갖도록 할 수 있는 실리콘액정표시장치(LIQUID CRYSTAL ON SILICON)가 개시된다. LCOS는 웨이퍼, 글래스, 글래스와 웨이퍼가 소정의 셀갭을 갖도록 웨이퍼 상면 양단부에 실런트를 채워 형성한 월(WALL), 웨이퍼 일면에 부착되는 박막압전체, 및 박막압전체의 수축/신장을 위해 외부전원을 공급 받도록 형성한 전극을 포함한다. 또한, 박막압전체의 변형으로부터 발생된 전압을 검출하는 전압검출부와 전압검출부에서 검출된 전압에 따라 박막압전체의 변형을 보상하는 피드백제어부

스페이서의 사용없이 균일한 셀갭(CELL GAP)을 갖도록 할 수 있는 실리콘액정표시장치(LIQUID CRYSTAL ON SILICON)가 개시된다. LCOS는 웨이퍼, 글래스, 글래스와 웨이퍼가 소정의 셀갭을 갖도록 웨이퍼 상면 양단부에 실런트를 채워 형성한 월(WALL), 웨이퍼 일면에 부착되는 박막압전체, 및 박막압전체의 수축/신장을 위해 외부전원을 공급 받도록 형성한 전극을 포함한다. 또한, 박막압전체의 변형으로부터 발생된 전압을 검출하는 전압검출부와 전압검출부에서 검출된 전압에 따라 박막압전체의 변형을 보상하는 피드백제어부를 더 포함한다. 이와 같은 LCOS는 글래스와 웨이퍼를 본딩하는 과정에서 발생하는 셀갭의 변형에 대해 부착된 박막압전체에 전압 크기를 조절하여 가함으로서 글래스와 웨이퍼 사이의 셀갭을 균일하게 조절할 수 있을 뿐만 아니라 제품 이용 중에 발생하는 웨이퍼의 변형에 대해서도 박막압전체로부터 발생하는 전압에 따라 보상을 해줄 수 있어 수율 향상 및 화질을 개선할 수 있다.

대표청구항

웨이퍼; 글래스; 상기 글래스와 상기 웨이퍼가 소정의 셀갭을 갖도록 상기 웨이퍼 상면 양단부에 형성한 월; 상기 웨이퍼 일면에 부착되는 박막압전체; 및 상기 박막압전체의 수축/신장을 위해 외부전원을 공급 받도록 형성한 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘액정표시장치.

웨이퍼; 글래스; 상기 글래스와 상기 웨이퍼가 소정의 셀갭을 갖도록 상기 웨이퍼 상면 양단부에 형성한 월; 상기 웨이퍼 일면에 부착되는 박막압전체; 및 상기 박막압전체의 수축/신장을 위해 외부전원을 공급 받도록 형성한 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘액정표시장치.