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연합인증

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반도체 웨이퍼 현상장비의 현상액 회수장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/027
출원번호 10-2003-0097005 (2003-12-24)
공개번호 10-2005-0065235 (2005-06-29)
DOI http://doi.org/10.8080/1020030097005
발명자 / 주소
  • 정재학 / 충청북도음성군감곡면오행리***-*동부아파트***호
출원인 / 주소
  • 동부일렉트로닉스 주식회사 / 서울 강남구 대치동 ***-**
대리인 / 주소
  • 허용록 (HAW, Yong Noke)
  • 서울 강남구 역삼동***-** 현죽빌딩 *층(선영특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2007-02-28)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록 ▼

본 발명의 목적은 아암 이동과정에서 장비 위로 떨어지는 현상액을 회수함으로써 현상액에 의한 장비의 파손이나 웨이퍼 손상을 방지할 수 있도록 된 반도체 웨이퍼 현상장비의 현상액 회수장치를 제공함에 있다. 이에 본 발명은 현상액 분사용 노즐이 설치된 아암을 이동시켜 캐치컵 내의 웨이퍼에 현상액을 분사하는 구조의 현상장비에 있어서, 상기 아암 대기위치에 설치된 드레인함과 캐치컵 사이에 노즐로부터 떨어지는 현상액을 포집하는 드레인덕트가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 현상장비의 현상액 회수장치를 제공한다

대표청구항

현상액 분사용 노즐이 설치된 아암을 이동시켜 캐치컵 내의 웨이퍼에 현상액을 분사하는 구조의 현상장비에 있어서, 상기 아암 대기위치에 설치된 드레인함과 캐치컵 사이에 노즐로부터 떨어지는 현상액을 포집하는 드레인덕트가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 현상장비의 현상액 회수장치.

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 캐치 컵 | 황선진, 김종현, 채명주
    상세보기
  2. [한국] 반도체웨이퍼 제조용 캐치 컵 | 김경일, 임재남, 최현묵
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